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半導(dǎo)體設(shè)備對電動(dòng)缸精度有什么要求？

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江蘇邁茨工業(yè)智能裝備有限公司2025-04-17

需達(dá)到：①定位精度 ±0.01mm，重復(fù)定位精度 ±0.005mm；②無油潤滑設(shè)計(jì)，避免顆粒污染；③防靜電涂層，防止芯片吸附粉塵；④支持真空環(huán)境（壓力≤10?3Pa），適配晶圓搬運(yùn)。

本回答由 江蘇邁茨工業(yè)智能裝備有限公司 提供

江蘇邁茨工業(yè)智能裝備有限公司
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簡介：江蘇邁茨智能裝備有限公司成立于2013年，專注于伺服電動(dòng)缸及智能驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，服務(wù)客戶2000+企業(yè)。
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江蘇邁茨工業(yè)智能裝備有限公司

聯(lián)系人： 劉易

手   機(jī)： 18012841750

網(wǎng)   址： http://jsmcgy.shop.88360.com

地   址：
江蘇省鎮(zhèn)江市句容市鎮(zhèn)江市句容市開發(fā)區(qū)黃梅河路東側(cè)、福地路北側(cè)(中南高科錦啟科創(chuàng)園內(nèi))
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