為了在掩模制作過程中減少缺陷和提高良率，可以采用負化學增幅型光刻膠進行二次生產，這種方法可以減少鉻殘留硬缺陷的發生率，并提高生產良品率。同時，改善掩模版存儲環境，控制溫濕度和潔凈度，減少由環境因素導致的缺陷也很關鍵。此外，采用先進的缺陷修復技術，如激光誘導化學氣相沉積（LCVD），可以有效修復掩模版上的微小缺陷，進一步提高良率。

在掩模制作中，減少缺陷和提高良率可以通過以下幾個方面實現：首先，采用高質量的原材料和先進的制作工藝，比如使用石英基板代替傳統的蘇打玻璃基板，以提高掩模版的耐用性和缺陷控制能力。其次，通過引入高精度的測量和檢測設備，如關鍵尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM），對掩模版進行細致的檢查和質量控制。此外，采用先進的清洗技術，如RCA清洗或UV+O3清洗，以去除掩模版表面的顆粒和有機物沾污。，通過持續的工藝優化和實時監控，確保生產過程的穩定性和一致性。