電鍍設備是通過電解反應在物體表面沉積金屬層的裝置,用于形成保護性或功能性涂層。
其系統包括:
電解電源:提供0-24V直流電,電流可達數千安培,適配不同鍍種需求;
電解槽:耐腐蝕材質(如PP/PVDF),雙層防漏設計,容積0.5-10m3;
電極系統:陽極采用可溶性金屬或不溶性鈦籃,陰極掛具定制設計,確保接觸電阻<0.1Ω;
控制系統:精細溫控(±1℃)、pH監測(±0.1)及鍍層厚度管理。
設備分類:
掛鍍線:精密件加工,厚度均勻性±5%;
滾鍍系統:小件批量處理,效率3-8㎡/h;
連續電鍍線:帶材/線材高速生產,產能達30㎡/h;
選擇性電鍍:數控噴射,局部鍍層精度±3%。 滾鍍后的離心甩干設備內置防滑襯墊,高速旋轉時固定工件,避免碰撞損傷并加速脫水。湖北電鍍設備
是一種于半導體制造中金屬化工藝的精密設備,主要用于在半導體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學或化學鍍工藝,實現高精度、高一致性的金屬覆蓋,滿足集成電路封裝、先進封裝及微機電系統等領域的特定需求
與傳統滾鍍不同,半導體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導體材料的兼容性。
1.金屬互連:在晶圓上形成銅導線。
2.凸塊制備:沉積錫、銅、金等材料,用于芯片與基板的電氣連接。
3.阻擋層/種子層鍍覆:鍍鈦、鉭等材料,防止金屬擴散并增強附著力。
1.電鍍槽:
材質:耐腐蝕材料,避免污染鍍液
鍍液循環系統:維持鍍液成分均勻,過濾顆粒雜質
2.旋轉載具:
晶圓固定裝置:真空吸附或機械夾持,確保晶圓平穩旋轉
轉速控制:通過伺服電機調節轉速,優化鍍層均勻性
3.陽極系統:
可溶性/不溶性陽極:銅、鉑等材料,依鍍層需求選擇
陽極位置調節:控制電場分布,減少邊緣效應
4.供液與噴淋系統:
多點噴淋頭:均勻分配鍍液至晶圓表面,避免氣泡滯留
流量控制:精確調節鍍液流速,匹配不同工藝需求
5.控制系統:
PLC/工控機:集成溫度、pH值、電流密度等參數監測與反饋。
配方管理:存儲不同鍍層的工藝參數 廣東深圳連續電鍍設備檢測設備配備 X 射線測厚儀與 pH 傳感器,在線監測鍍層厚度及藥液參數,實時反饋并修正工藝偏差。
高精度定位
伺服系統+光柵尺反饋,確保工件浸鍍位置誤差<1mm適用于精密電子接插件、汽車精密部件等對鍍層均勻性要求高的場景(厚度偏差±3-5%)。
多工藝兼容性
可集成除油、酸洗、電鍍、鈍化、烘干等20+工序支持掛鍍、滾鍍(通過可切換掛具)混合生產
柔性化生產
通過編程快速切換工件類型(換型時間<30分鐘)支持小批量多品種(如同時處理10種不同規格螺栓)
穩定性強
故障率<0.5%(關鍵部件如電機、傳感器采用工業級防護)連續運行壽命>10萬小時
行業 應用案例 工藝要求 汽車制造 發動機支架鍍鋅、輪轂鍍鉻 耐鹽霧>720小時,厚度10-15μm
電子行業 手機接口鍍金、PCB接插件鍍鎳 鍍層 孔隙率<5個/cm2 五金 衛浴鍍銅鎳鉻三鍍層 表面粗糙度Ra<0.2μm
1.前處理:晶圓清洗、去氧化層、活化表面。
2.裝載:將晶圓固定于旋轉載具,浸入鍍液。
3.電鍍:
施加電流,金屬離子在晶圓表面還原沉積。
旋轉載具確保鍍液流動均勻,消除厚度差異。
4.后處理:鍍層退火、清洗、干燥。
1.高均勻性:
旋轉+噴淋設計減少“邊緣增厚”現象,鍍層均勻性達±5%以內。
2.精密控制:電流密度精度:±1 mA/cm2;溫度波動:±0.5℃。
3.潔凈度保障:設備內建HEPA過濾系統,滿足Class 1000以下潔凈環境。
4.高效生產:支持多片晶圓同時處理(如6片/批次),UPH(每小時產量)可達50~100片。
1.先進封裝:2.5D/3D IC的TSV鍍銅、Fan-Out封裝中的RDL金屬化。
2.功率器件:IGBT、MOSFET背面金屬化(鍍銀、鍍鎳)。
3.傳感器與MEMS:微結構表面鍍金,提升電氣性能與可靠性。 噴淋式電鍍設備利用高壓噴頭將電解液均勻噴灑在工件表面,加速離子交換,提高電鍍效率,形狀復雜的工件。
電泳生產線的特點
1.高效均勻
涂層厚度可控(通常 5~30μm),且無論工件形狀多復雜(如內腔、焊縫),均可通過電場均勻覆蓋,尤其適合結構復雜的工件(如汽車車身)。
2.環保節能
電泳漆以水為溶劑,VOC(揮發性有機物)排放低,符合環保要求;電能和涂料利用率高,浪費少。
3.高防腐性
陰極電泳涂層具有優異的耐腐蝕性,是汽車車身防腐的工藝(如汽車底漆耐鹽霧測試可達 1000 小時以上)。
4.自動化程度高
從工件上線到涂層固化全流程自動化,減少人工干預,提高生產效率和一致性。
5.適用范圍廣
適合批量生產,工件材質包括金屬(鋼鐵、鋁、鋅合金等)、塑料(需導電處理)等。 自動化電鍍線的機器人上下料系統,通過視覺識別定位工件,實現高精度無人化操作。真空電鍍設備配件
離心干燥設備適配滾鍍后工件,通過高速旋轉甩干水分,避免傳統熱風干燥的能耗與時間損耗。湖北電鍍設備
陽極氧化線的主要組成部分
1. 前處理系統
目的:表面油污、氧化皮和雜質,確保氧化膜與基體結合牢固。
工序:
除油-堿蝕 / 酸洗-多級水洗
2. 陽極氧化處理系統
氧化槽:
材質:耐酸堿的 PP、PVC 或玻璃鋼,內置陰極板(鉛板、不銹鋼)和導電裝置。
控制裝置:
電解液類型:
硫酸:常用,成本低,膜透明度高,適合裝飾性氧化(如鋁型材染色)。
草酸:膜硬度高、耐磨性強,用于硬質氧化(如航空零件)。
鉻酸:膜層柔軟、孔隙少,適合復雜工件或疲勞敏感零件(如汽車部件)。
3.后處理系統(功能拓展)
染色(可選):利用氧化膜的多孔性吸附有機染料或金屬鹽,實現顏色定制。
封孔(關鍵工序):
熱水封孔:使氧化膜水合生成 Al?O??nH?O,堵塞孔隙,提升耐腐蝕性。
蒸汽封孔:高溫蒸汽加速水合,適合厚膜(如硬質氧化)。
化學封孔:鎳鹽 / 鈷鹽溶液,形成氫氧化物沉淀封孔
干燥:熱風循環或烘箱去除水分,防止封孔后白斑。
4.自動化控制系統
輸送設備:懸掛式鏈條、龍門行車或機械手,實現工件在各槽間的自動傳輸。
參數監控:PLC 或工業電腦實時監測電壓、電流、電解液濃度、溫度、pH 值,自動補加藥劑或調整工藝參數。 湖北電鍍設備