600度高溫回火爐技術規格書一、設備名稱：HOTTSP-HT600度高溫回火爐二、設備型號：HOTTSP-HT600三、設備型號定義：HOTTSP-昆山臺上品工業自動化有限公司簡稱；600—整機最高溫度600度；HT—H表示高溫設備；T表示非標設備。四、設備用途：五金件、電子零件、精密零部件產品前后的熱間加工。五、溫度要求：5．1熱間有效范圍內，溫控的控制精度正負5度，均溫性2%。5．2正常使用500度，比較大溫度600度。六、設備能力:溫度到計時，時間到報警。（后改為程式表，并增加了電壓表）七、設備工作原理及組成描述：7.1工作原理：運用大功率加熱器將空氣加熱，升溫到設定溫度后自動保溫計時，時間到報警提示。7.2設備組成：HOTTSP-HT600高溫回火爐一臺。八、工藝流程8.1加熱流程1上料→2關門密封→3加熱升溫→4溫度到計時保溫→5保溫時間到報警→6斷電降溫→7開門下料高溫隧道固化爐高溫鼓風干燥箱。昆山重型工業烤箱

1)外殼SUS304不銹鋼材質，內膽316L不銹鋼材料；采用不銹鋼加熱管，加熱管4個，總功率2650W,均勻分布在內膽外壁，上下左右四面加熱，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置；采用鋼化、防彈雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內物品實驗情況。無發塵材料，適用百級光刻間凈化環境使用。2)箱門閉合松緊能調節，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內保持高真空度。3)溫度采用微電腦PID控制,系統具有自動控溫,定時,超溫報警等,LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡單易用,性能穩定可靠.4)智能化觸摸屏控制系統配套PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間。5)HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，使真空箱密封性能極好，確保HMDS氣體無外漏顧慮。南京自動化工業烤箱費用主要用于 Wafer 基板，OVEN 主要是在制程中。

八.選材要求:選材品牌參照招標文件中品牌要求和投標文件中主要外購件清單序號名稱類別制造商序號名稱類別制造商1變頻器臺達/三菱18訊響器中國臺灣2接觸器及熱保護開關施耐德19線材無錫南亞電纜3空氣開關正泰/德力西20觸摸屏威綸/三菱4光電開關OMRON/同等品牌21驅動電機及減速器歐邦/同等品牌5繼電器及座OMRON22鏈條環球/匯利興6微動開關OMRON23止擋器亞德客/同等品牌7行程開關OMRON24氣動組件亞德客/同等品牌8可編程控制器三菱/OMRON25電磁閥亞德客/同等品牌9可編程控制器擴展三菱/OMRON26氣缸亞德客/同等品牌10馬達開關正泰/德力西27吸盤SMC/同等品牌11斷路器正泰/德力西28電源插座飛雕12漏電保護附件OMRON29饋電子國產質量13按鈕開關天逸30主線鋁型材國產質量電泳處理14轉換開關天逸3115急停開關天逸3216指示燈天逸3317直流電源明緯34

九、設備參數9-1.回火工件：名稱:五金零部件9-2.設備要求：設備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）額定功率為30KW9-3.占地要求：設備整機尺寸：約W1767×D1560×H2317（mm）（配電柜在右側面）主機占地尺寸：約L3500×W2500（mm）廠房高度要求：約3.5米9-4.環境要求：空氣溫度：5～40℃相對濕度：≤80%十、設備各部分配置10-1．數量1個溫度正常使用500度，MAX600度。機臺體結構內有效尺寸層架結構，貴司現有設備樣式（見附件圖紙）材質保溫墻體為硅酸鋁棉隔熱材料，主體為冷板、鍍鋅板、不銹鋼材料組成。外板為SS415.0T&2.0T&1.5T電箱為SS411.2T其他材料為SUS1.0T&2.0T&3.0T不銹鋼。結構穩固、耐用。送風系統方式采用電機帶動皮帶使風輪轉動&加長軸散熱系統。電機功率為1/2HP加熱系統溫控器YUDIAN自動數顯程序溫控器，溫控范圍：RT~500℃MAX600℃。加熱器◇箱體兩側安裝加熱管、加熱功率25KW。◇加熱管材質為，耐高溫鎳鉻特制加熱器，耐溫1200度。方型鐘罩燒結爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導管燒結、退火熱處理用。

HMDS預處理系統的原理：HMDS預處理系統通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS預處理系統的一般工作流程：首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內真空度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業過程。HMDS與硅片反應機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。熱處理高溫熱風循環烤箱。太倉省電工業烤箱出售

推板式氣氛燒結爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導管燒結、退火熱處理用。昆山重型工業烤箱

真空烘箱規格書一、箱體結構尺寸1.內尺寸（W*D*H）mm：550mm×(300×3)mm×430mm（W×H×D）2.外尺寸（W*D*H）mm：按實物3.控制器：位于機臺右側4.門：由左邊往右邊開5.內膽材質：質量不銹鋼SUS304#3.0T板6.外箱材質：鋼板粉體靜電烤漆1.2T，涂裝采用酸洗脫脂與皮膜處理與采高黏著力液體噴涂7.保溫材質：采用質量高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃）,保溫性能佳，節能省電，環保無污染8.爐門保溫材質：高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），配備硅膠門條，有效防止熱量流失，保持溫度平穩，節能效果佳9.分層：分3層，3個不銹鋼烤盤10.門口裝不銹鋼方鋼框20T*W30昆山重型工業烤箱

昆山臺上品工業自動化有限公司致力于機械及行業設備，是一家生產型公司。公司業務分為工業烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐等，目前不斷進行創新和服務改進，為客戶提供良好的產品和服務。公司秉持誠信為本的經營理念，在機械及行業設備深耕多年，以技術為先導，以自主產品為重點，發揮人才優勢，打造機械及行業設備良好品牌。臺上品憑借創新的產品、專業的服務、眾多的成功案例積累起來的聲譽和口碑，讓企業發展再上新高。