無塵烘箱雙門雙控XSTS-940*2規格書一、箱體結構尺寸1.內尺寸（W*D*H）mm： 2室2.外尺寸（W*D*H）mm：按照實際尺寸3.控制器：位于機臺右部4.門、門扣：雙門，由中間往兩邊開5.內膽材質：質量不銹鋼鏡面板6.外箱材質：冷板靜電粉末烤漆（米白色）7.保溫材質：采用質量高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），保溫性能佳，節能省電，環保無污染8.爐門保溫材質：高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），配備硅膠門條，有效防止熱量流失，保持溫度平穩，節能效果佳9.底部配可調節的腳杯和可移動的腳輪10.箱體各2支凹槽，方便千層架進出（千層架由客戶自備）11.內部背后設置防撞裝置主要用于 Wafer 基板，OVEN 主要是在制程中。姑蘇區省電工業烤箱價格

十、設備各部分配置10-1．數量1個溫度正常使用45度，MAX60度。機臺體結構內有效尺寸（W*H*D）材質1.爐膛采用全不銹鋼爐膛，巖棉保溫，具有升溫快，節能等特點2.不銹鋼爐膛內箱干凈，抗腐蝕，便于清理3.外部采用冷板加烤漆，外觀整潔送風系統方式1.專業的送風，排風系統，確保爐膛溫度均勻。2.熱風循環溫度均勻，換熱迅速，廢氣帶出及時。加熱系統溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點溫度實時監測，工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管。◇加熱管材質為，不銹鋼304加熱器。10-5．電器控制控制柜位于爐體的右側，內裝空氣開關、（日本歐姆龍）繼電器、等主控電器控制電路。控制面板控制面板安裝加熱開關，送風開關、溫度控制器、故障報警燈等。操作面板上可以設定所有的參數及控制狀態；若不正常，有聲或光報警并可控制加熱器、馬達等停止工作。備注◇發熱管的安裝應考慮維修方便。◇布線整齊，電線都放入線槽內；并標明線號。◇所有電線接頭用線耳方式銜接。吳江區工業烤箱商家精密熱風千級烤箱SMO-3。

設備配置裡，要記得加入HMDS需求：1、流量監控，可監控進入腔體的藥液量；氣體流量計（進口的ASERT，型號是0-4000SLM），通過通訊傳輸到PLC.2、可實現自動調檔（拋檔內容如上次郵件）、自動上、下機，配置霍尼韋爾條碼(可根據客戶要求選擇品牌)，可掃描PDA上的一維條碼三、安全裝置l溫度過升防止器（設定上限，保護被試品和試驗箱體）l電機過負荷熱繼電器（設定上限，保護電機過負荷）l逆向防止器（確保電機轉動方向正確）l動力電流保護器（設定上限，保護電路設備安全）四、附屬部品（交機時附送）操作說明書電路圖管路圖BOM表清單五、交貨試驗項現場性能確認基本模式l溫度上升時間：室溫到150℃是55分鐘內。l溫度下降時間及降溫是自然降溫，受外界環境影響，少5個小時。l確認在無負荷無試樣情況下進行。l六點測試位置（使用：日本橫河多點記錄儀）。

安裝和培訓：13-1.安裝u供方將提供地基圖和水、電接口圖給用戶。u工業用電：控制柜頂部接頭（一次電電纜線客戶處理，并接線至設備電箱）。u需方安裝現場提供與該設備匹配的電接口，便于安裝調試。u供方在需方現場安裝調試設備并交付使用。13-2.培訓u安裝期間，供方在安裝現場為需方操作者提供培訓，培訓包括正常操作、維修保養、操作問題的分析和緊急故障的處理程序。u設備出廠經需方預驗收合格。十四、設備驗收：14-1.預驗收u預驗收在供方進行。u一般檢查：看設備的實物布局是否合理，外觀質量與基本功能是否符合技術要求，設備的管線連接是否堅固。u安全檢查包括：機械、電器故障顯示、檢測、報警等各種保護功能的檢查。u設備空運轉檢查：空運轉6小時期間不能出故障。14-2.終驗收14-2-1.終驗收在需方的車間內進行。設備到達需方車間就位后，供方須派專業人員到需方現場進行調試，同時完成終驗收工作。14-2-2.終驗收的程序如下u同初驗收內容,設備運轉時間延長至三個工作日往復棍式隧道爐及其配套設施。

尾氣處理：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**廢氣收集管道。在無**廢氣收集管道時需做專門處理。設備配置試驗室用電源設備及注意事項電源：AC220V50Hz電壓允許變動范圍：額定值的±5%（但是可運行的范圍為±10%）（2）最大負荷容量：3KW（3）最大電流：15A（4）放置箱體時注意與墻面距離應大于300mm。特別要求：文檔到指定的網絡路徑：透過txt或者csv拋檔案到ip位置路徑。然後他生產使用量監控要求：通過流量計+電池閥延時控制，量化氣體，控制成本。剩馀量是從藥水那邊的液位監控,低位報警。HMDS藥液流量需可卡控上下限，超出范圍報警提醒，機臺拋檔使用TXT格式，數據：HMDS藥劑流量，溫度、壓力、作業批號、作業人員工號、作業開始時間、結束時間、報警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下貨放cassette在機臺上的高度/備注cassette放置于設備前方或左右側）芯片傳送方式：（具備cassetteincassetteout)上下貨門需要能自動感測開啟程序自動調檔：（當cassette至于上貨平臺即能掃檔帶出該批貨的程序自動執行）軟件支持SEMI自動化標準SECS/GEM通訊接口蘇州自動化隧道爐（標準）。鹽城半導體工業烤箱生產廠家

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15米連續式烘烤爐規格書（燃氣加熱）規範書昆山臺上品工業自動化有限公司一、設備簡介：1.設備用途：本設備為連續式表面烘干生產線，用于產品制程后的烘干和輸送。2.干燥后的產品具有均勻一致的數據要求.3.設計、制造、安裝調試的技術標準和相關標準：產品在設計、制造、安裝調試驗收過程中，按照客戶的要求，在局限的空間和時間做出***的性能.總功率：3P380V5KW/H電源：AC380V三相五線控制方式：SSR+PID進料高度：400MM爐內高度：450MM加熱功率：5萬大卡循環風機：1臺風量4000CMH，壓力1000Pa耗能：1.燃燒機用燃氣比較大6立方每小時，保溫燃氣在30~50%。約1.8立方到3立方每小時，試實際工況而定。2.設備電力功耗：比較大5KW/H.姑蘇區省電工業烤箱價格

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