在微電子潔凈車間中,靜電控制是非常重要的,因為靜電可能會對微電子器件和工藝造成損害。以下是合景凈化工程公司整理的微電子潔凈車間常見的靜電控制措施:微電子潔凈車間的設計和布局應該考慮到靜電控制。地板、墻壁和天花板應該使用靜電耗散材料,以防止靜電積累。此外,車間內應該設置合適的防靜電工作臺和操作區,以便員工在操作微電子器件時能夠有效地控制靜電。工作人員在進入微電子潔凈車間之前,應該進行防靜電培訓,以了解如何避免靜電的產生和如何正確地操作防靜電設備和工具。此外,工作人員也應該穿著防靜電工作服和鞋子,以防止靜電的產生。微電子器件在生產過程中可能會產生靜電,因此應該采取一些措施來控制這種情況。例如,可以使用防靜電包裝材料來儲存和運輸微電子器件,也可以使用防靜電噴涂材料來對器件進行表面處理。為了確保靜電控制的有效性,微電子潔凈車間應該定期進行靜電檢測和維護。這包括對車間內的靜電耗散材料進行檢測和維護,以及對防靜電設備和工具進行檢查和維修。 實驗室內的插座應具備防水、防塵功能,防止因液體濺入或灰塵堆積引發安全事故。鎮江高校實驗室裝修設計公司
實驗室氣體管道工程投入使用后,持續的維護與管理是保證其長期穩定運行的關鍵。應制定定期巡檢制度,安排專業人員對氣體管道系統進行檢查,查看管道是否有泄漏、變形、腐蝕等情況,閥門操作是否靈活,壓力指示是否正常等,并做好巡檢記錄。定期對氣體過濾器、減壓閥等設備進行清潔、維護和校準,確保其性能良好。對于易損件,要提前儲備一定數量的備品備件,以便及時更換。同時,加強對實驗人員的培訓,使其熟悉氣體管道系統的操作規程和安全注意事項,避免因人為操作不當引發故障或安全事故。另外,當實驗室氣體使用需求發生變化或進行設備改造時,要對氣體管道系統進行相應的評估和調整,確保其始終滿足實驗室的實際需求,為實驗室的科研和實驗工作提供可靠的氣體保障。 浙江PCR實驗室設計公司配置專業的廢氣處理設備,對實驗產生的廢氣進行凈化處理,達標后排放,保護環境。
根據芯片制造的要求,潔凈車間通常需要達到至少百級(ISO5級)以上的潔凈度標準。有些特殊的芯片制造過程甚至需要更高的潔凈度等級。為了達到這個目標,需要在施工前進行嚴格的設計和規劃,并采用高質量的材料和設備。潔凈車間的墻體和天花板需要采用不易產生塵埃的材料,并具有良好的密封性能。同時,地面材料也要耐磨、防滑、易清潔,以保持車間的潔凈和衛生。潔凈車間需要配備高效、穩定的空調系統,以保證室內空氣的流通和溫度、濕度的控制。同時,為了防止外界污染進入車間,需要安裝空氣凈化器、過濾器等設備,確保車間的潔凈度和環境質量。還需要考慮照明、安全、消防等方面的問題。照明要充足,使得工作人員能夠清晰地看到工作內容;安全方面需要考慮防靜電、防塵、防護等措施,確保工作人員的安全;消防方面則需要配備滅火器、消防栓等設備,以應對突發情況。
定風量系統控制在實驗室通風系統中應用較多。系統采用靜壓傳感自動變頻控制(或PLC編程控制),能根據開啟通風設備的數量變化,將感應到的靜壓轉變成0-10V的電信號輸入變頻器,從而自動調節風機頻率。這樣風機的抽風量就能與實際所需排風量相匹配,確保排風效果,達到節能降噪的目的。每臺通風柜安裝一個電子風量調節閥,其控制開關和變頻控制系統及風機聯動,可實現單臺或多臺通風設備等不同工況下的控制。并且風量調節閥具有記憶功能,方便下次使用時快速調整到合適角度。系統風閥和風機整體聯動,保證了氣流的有序流動,平衡系統風量,防止氣流反串、倒流。變風量系統(VAV)控制是隨著技術發展出現的先進控制方式。系統同樣采用靜壓傳感自動變頻控制,依據開啟通風設備的數量變化調節風機頻率,使風機抽風量與實際排風量匹配,確保排風效果并節能降噪。每臺通風柜安裝文丘里變風量風閥,與變頻控制系統及風機聯動,實現不同工況控制。變風量調節閥門采用數顯可調角度且有記憶功能的文丘里風閥。在一些對通風要求較高且空間布局復雜的實驗室中,變風量系統優勢明顯。 對實驗室的管道進行保溫處理,防止冷凝水產生,避免管道腐蝕與實驗環境潮濕。
對于一些對潔凈度要求極高的實驗室,如半導體制造實驗室、生物制藥實驗室、醫院手術室等,潔凈度設計是**環節。首先要根據實驗需求確定潔凈等級,如ISO14644-1標準將潔凈室分為不同等級,百級、千級、萬級等,每個等級對空氣中懸浮粒子濃度有嚴格規定。為達到相應潔凈等級,要采用合理的氣流組織形式,如單向流、非單向流。單向流通過使空氣以均勻速度沿單一方向流動,將室內污染物迅速排出,適用于對潔凈度要求極高區域;非單向流則通過混合室內空氣,稀釋污染物濃度,滿足一般潔凈度要求。空氣凈化設備是保障潔凈度的關鍵,需安裝高效過濾器,如HEPA過濾器,能過濾掉空氣中微小粒子,包括細菌、病毒、塵埃等。高效過濾器要定期更換,確保過濾效果。實驗室裝修材料要選擇不易產塵、易清潔的材質,墻面可采用彩鋼板,表面光滑平整,不易積塵;地面采用防靜電環氧自流平地坪,既能防止靜電吸附灰塵,又便于清潔消毒。同時,要嚴格控制人員和物品進出,人員進入需更換潔凈服、鞋套,經過風淋室吹淋去除身上灰塵;物品進入需進行清潔、消毒處理,避免將污染物帶入潔凈實驗室,維持實驗環境的高潔凈度。 采用節能型的空調與通風設備,降低實驗室運行能耗,實現綠色環保目標。滁州食品潔凈實驗室
設計實驗室的參觀通道,采用透明隔斷或玻璃幕墻,在保障實驗安全的同時展示實驗過程。鎮江高校實驗室裝修設計公司
萬級潔凈實驗室對空氣質量的要求非常高,因此空氣凈化系統是設計裝修中非常重要的部分之一。空氣凈化系統主要包括送風口、回風口、過濾器、消聲器等組成。在選擇空氣凈化設備時,要根據實驗室的潔凈等級要求,選擇適合的過濾器,并確保設備的性能和質量。同時,要合理布置送風口和回風口的位置和數量,確保空氣流通和循環。萬級潔凈實驗室的地面和墻面也要特別注意。地面需要采用防滑、易清潔的材料,如環氧樹脂地板、PVC地板等。墻面則需要使用不易產生塵埃及細菌的材料,如不銹鋼板、抗靜電漆等。同時,墻面和天花板也要考慮平整度和光潔度,以減少灰塵和細菌的積聚。實驗室需要用到大量的水和電,因此要確保水電設施的穩定和可靠。同時,要考慮到實驗室的安全性,配備相應的消防設施和應急設備。通風系統主要包括排風罩、通風機、過濾器等組成。在選擇通風設備時,要根據實驗室的需要和要求,選擇適合的型號和規格,并確保設備的性能和質量。同時,要合理布置排風罩的位置和數量,確保實驗室內的空氣流通和循環。鎮江高校實驗室裝修設計公司