超精密加工技術的發展趨勢向更高精度方向發展：由現在的亞微米級向納米級進軍，以期達到移動原子的目的，實現原子級加工。向大型化方向發展：研制各類大型的超精密加工設備，以滿足航空、航天、通信和安全的需要。向微型化方向發展：以適應飛速發展的微機械、集成電路的需要。向超精結構、多功能、光、加工檢測一體化等方向發展：多采用先進的檢測監控技術實時誤差補償。新工藝和復合加工技術不斷涌現：使加工的材料的范圍不斷擴大1。超精密激光切割技術已經被應用于精密電子、裝飾、模具、手機數碼、鈑金和五金等行業。微米級超精密測包機分度盤

超精密加工主要包括三個領域：超精密切削加工如金剛石刀具的超精密切削，可加工各種鏡面。它已成功地解決了用于激光核聚變系統和天體望遠鏡的大型拋物面鏡的加工。超精密磨削和研磨加工如高密度硬磁盤的涂層表面加工和大規模集成電路基片的加工。超精密特種加工如大規模集成電路芯片上的圖形是用電子束、離子束刻蝕的方法加工，線寬可達0.1μm。如用掃描隧道電子顯微鏡(STM)加工，線寬可達2～5nm。超精密加工是指亞微米級(尺寸誤差為0.3～0.03μm，表面粗糙度為Ra0.03～0.005μm)和納米級(精度誤差為0.03μm，表面粗糙度小于 Ra0.005μm)精度的加工。實現這些加工所采取的工藝方法和技術措施，則稱為超精加工技術。加之測量技術、環境保障和材料等問題，人們把這種技術總稱為超精工程。自動化超精密VACUM CHUCK激光超精密加工的對象范圍很寬，包括幾乎所有的金屬材料和非金屬材料，適于材料的打孔、焊接、表面改性等。

超精密加工技術市場是國家高技術集中的市場，它既是高代價、高投入的工藝技術，又是高增值、高回報的工藝技術，世界工業先進國家都把它放在國家技術和經濟振興的重要位置。試舉幾例。(1)超精密零件加工。例如慣性導航儀器系統中的氣浮陀螺的浮子及支架、氣浮陀螺馬達軸承等零件的尺寸精度、圓度和圓柱度都要求達到亞微米級精度;人造衛星儀器軸承是真空無潤滑軸承，其孔和軸的表面粗糙度Rα達到1nm，圓度和圓柱度均為納米級精度，這些零件都是用超精密金剛石刀具鏡面車削加工的。精密液壓控制系統中的精密伺服閥的閥芯與閥套的配合精度也常在亞微米等級，它是用超精密磨削方法加工的。

超精密加工的機理研究：包括微細加工機理研究；微觀表面完整性研究；在超精密范疇內的對各種材料（包括被加工材料和刀具磨具材料）的加工過程、現象、性能以及工藝參數進行提示性研究1。超精密加工的設備制造技術研究：如納米級超精密車床工程化研究；超精密磨床研究；關鍵基礎件，像軸系、導軌副、數控伺服系統、微位移裝置等研究；超精密機床總成制造技術研究1。超精密加工工具及刃磨技術研究：例如金剛石刀具及刃磨技術、金剛石微粉砂輪及其修整技術研究1。超精密測量技術和誤差補償技術研究：包含納米級基準與傳遞系統建立；納米級測量儀器研究；空間誤差補償技術研究；測量集成技術研究1激光超精密加工質量的影響因素少，加工精度高，在一般情況下均優于其它傳統的加工方法。

通過介于工件和工具間的磨料及加工液，工件及研具作相互機械摩擦，使工件達到所要求的尺寸與精度的加工方法。對于金屬和非金屬工件都可以達到其他加工方法所不能達到的精度和表面粗糙度，被研磨表面的粗糙度Ra≤0.025μm，加工變質層很小，表面質量高。精密研磨的設備簡單，主要用于平面、圓柱面、齒輪齒面及有密封要求的配偶件的加工，也可用于量規、量塊、噴油嘴、閥體與閥芯的光整加工。但精密研磨的效率較低（如干研速度一般為10 - 30m/min，濕研速度為20 - 120m/min），對加工環境要求嚴格，如有大磨料或異物混入時，將使表面產生很難去除的劃傷。拋光是利用機械、化學、電化學的方法對工件表面進行的一種微細加工，主要用來降低工件表面粗糙度，常用的方法有手工或機械拋光、超聲波拋光、化學拋光、電化學拋光及電化學機械復合加工等。手工或機械拋光是用涂有磨膏的拋光器，在一定的壓力下，與工件表面做相對運動，以實現對工件表面的光整加工，加工后工件表面粗糙度Ra≤0.05μm，可用于平面、柱面、曲面及模具型腔的拋光加工，手工拋光的加工效果與操作者的熟練程度有關。超聲波拋光是利用工具端面做超聲振動，通過磨料懸浮液對硬脆材料進行光整加工。超精密激光加工是先進的加工技術，它利用高效激光對材料進行雕刻和切割，主要的設備包括電腦和激光切割機。飛秒激光超精密貼片電容

從加工周期來看，激光超精密加工操作簡單，切縫寬度方便調控，可立即進行高速雕刻和切割、加工速度快。微米級超精密測包機分度盤

超精密加工技術在制造業中的應用，主要包括以下幾個方面：1.光學元件加工：如鏡頭、反射鏡等，要求表面粗糙度極低，形狀精度高。2.電子器件加工：如硬盤驅動器的磁頭、微型傳感器等，對尺寸和形狀精度有極高要求。3.生物醫療領域：如微型醫療器械、人工關節等，需要高精度加工以滿足嚴格的生物兼容性要求。4.航空航天領域：如衛星部件、發動機葉片等，需要承受極端環境，對材料加工精度有嚴格要求。5.新材料研發：如超導材料、納米材料等，加工過程中需保持材料的特殊性能。超精密加工技術對設備、材料和工藝都有極高的要求，是推動行業發展的關鍵技術之一。微米級超精密測包機分度盤