微泰，采用先進的飛秒激光的高速螺旋鉆削自主技術，進行半導體產業所需的各種形狀的微孔加工，MIN可做到5微米的微孔，公差可做到±2微米，孔距可做到0.3微米。還可以進行MAX10度角的倒錐孔和各種幾何形狀的微孔，飛秒激光利用相對較短的激光脈沖，熱損傷很小，加工對象沒有物性變形層，表面平整，實現超精密微孔加工。MLCC層壓的真空板相同區域內可加工不規則位置的孔；可以混合加工不規則尺寸，孔間距可達0.3μm；可加工多達800,000個孔，用于MLCC印刷吸膜板，MLCC疊層吸膜板，吸附板。激光超精密打孔是將光斑直徑縮小到微米級，從而獲得高的激光功率密度，幾乎可以在任何材料實行激光打孔。半導體超精密研磨

微泰，精湛的超精密加工技術，可達到微米級加工，充分考慮材料的特殊性加工超平整零件，平整度公差小于3um零件精密加工的關鍵在于確保高水平的精度和質量，并確保與既定尺寸的偏差小實現。精密加工的半導體晶圓真空卡盤的平面度公差不超過3μm，并通過三維接觸測量儀進行全數檢查和系統質量的管材，為全球客戶提供精密加工。鋁（AL5052、AL6061、AL7075）、不銹鋼（SUS304、SUS316、SUS630）。銅、鎢、鈦和蒙奈爾合金（MONEL）。處理聚醚醚酮(PEEK)、聚甲醛(POM)和聚酰亞胺(PI)等材料，需要精密加工。使用高難度材料，如無氧高導銅(OFHC)制造半導體精密零件。半導體超精密研磨超精密激光切割集切割、雕刻、鏤空等工藝于一身，可以滿足各類材料的切割打孔，以及其他工藝需求。

精密磨削技術-電解在線砂輪修整技術(ELID)對于精密零件的加工生產，精密磨削技術是必不可少的。在半導體/LCD、MLCC和新能源電池等領域中，精密元件的使用率很高。常見的磨削技術的問題是，必須根據磨削后的弓形磨損量繼續修整，這給保持同等質量帶來了困難，因為表面狀況會發生細微變化。簡而言之，ELID磨削技術是一種在不斷修整的同時進行拋光的技術。微泰采用了高精度的磨削技術，這些技術都以ELID技術和專有技術為基礎，在這種技術中，我們生產的產品具有高精度、平坦度和高質量，這是很難生產的。真空板ELID磨削技術ELID磨削技術（真空板）。利用電解在線砂輪修整技術(ELID)，提高真空吸附板、刀片的表面粗糙度，減少研磨時的毛刺，減少手動調節提高作業自動化。400mm見方的真空板平面度可達5um。

微泰開發了一種創新的新技術，用于在PCD工具中形成用于加工非鐵材料的斷屑器。利用先進技術，PCD刀具的切削刃可以形成所需形狀的斷屑器。這項技術可用于從粗加工到精加工的廣泛應用，并通過在加工過程中隨意調整外殼尺寸，顯著提高刀具的壽命和表面光澤度。通過改變PCD的傾角以及成形的斷屑器切斷切屑，可以很大程度地減少斷口材料的變形，從而降低切削負荷，并很大限度地減少加工過程中產生的熱量。這項技術使客戶能夠生產出他們想要的高精度產品，并提高生產率、提高質量和降低加工成本。再一次防止材料變形，降低成本，改善表面粗糙度，延長刀具壽命，提高機器利用率。帶斷屑器的PCD嵌件，激光加工PCD/PCBN頂部切屑斷屑器形狀的方法和用于切削加工刀柄的刀片·切屑破碎器可以進一步提高產品的粗糙度，防止在使用成型工具時刮傷產品表面。斷屑器不同，形狀的切屑斷屑器是PCD/PCBN硬質合金刀片特色。改變基材成分的超精密加工包括激光熔覆、激光電鍍、激光合金化和激光氣相沉積等應用。

先進的螺旋鉆孔系統是用于加工各種機械零件的高精度微孔的設備，是基于飛秒激光的高速掃描儀系統。在利用現有的納秒激光加工微孔時，由于長激光脈沖產生的熱量積累，會在孔周圍生成顆粒。出現了表面物性值變形等各種問題。飛秒激光利用相對較短的激光脈沖，熱損傷很小，加工對象沒有物性變形層，表面平整，實現超精密微孔加工。本系統的利用先進的螺旋鉆孔技術，采用高速螺旋鉆削技術。應用掃描儀，您可以在任何位置自由調整聚焦點，還可以調節激光束的入射角，從而實現錐度、直錐度可以進行倒錐度等，所需的微孔和幾何加工。本系統通過調整入射角和焦距，可以進行產業所需的各種形狀的加工，可以進行30um到200um的精密孔加工。此外，還可以進行MAX10度角的倒錐孔和三維加工。微孔檢測系統，激光加工完成后，將載入相應的坐標信息。通過視覺掃描，確認每個微孔的大小和位置信息，并將其識別合格還是不合格。收集完成后，按下返工按鈕即可進行再加工。本技術適用于，需要超精密加工的半導體制造設備零件、醫療領域設備及器材配件，各種傳感器相關配件，適用于光學相關設備和零件的精密加工領域。超精密激光加工系統領域全球企業，上海安宇泰環保科技有限公司由于材料范圍廣且精度高，超精度加工技術普遍會應用在航太業、醫療器材、太陽能板零件等。PCD超精密分度盤

激光超精密加工技術領域，全球有多家廠商參與競爭并提供各種不同類型的設備。主要廠商集中在亞洲、德國等。半導體超精密研磨

美國是早期研制開發超精密加工技術的國家。早在1962年，美國就開發出以單點金剛石車刀鏡面切削鋁合金和無氧銅的超精密半球車床，其主軸回轉精度為 0.125μm，加工直徑為?100mm的半球，尺寸精度為±0.6μm，粗糙度為Ra0.025μm。1984年又研制成功大型光學金剛石車床，可加工重1350kg，?1625mm的大型零件，工件的圓度和平面度達0.025μm，表面粗糙度為Ra0.042μm。在該機床上采用多項新技術，如多光路激光測量反饋控制，用靜電電容測微儀測量工件變形，32位機的CNC系統，用摩擦式驅動進給和熱交換器控制溫度等。美國利用自己已有的成熟單元技術，只用兩周的時間便組裝成了一臺小型的超精密加工車床(BODTM型)，用刀尖半徑為5～10nm的單晶金剛石刀具，實現切削厚度為1nm (納米)的加工。盡管如此，美國還是繼續把微米級和納米級的加工技術作為國家的關鍵技術之一，這足以說明美國對這一技術的重視。半導體超精密研磨