生物傳感芯片與任何遠程的東西交互存在一定問題，更不用說將具有全功能樣品前處理、檢測和微流控技術都集成在同一基質中。由于微流控技術的微小通道及其所需部件，在設計時所遇到的噴射問題，與大尺度的液相色譜相比，更加困難。上世紀80年代末至90年代末，尤其是在研究生物芯片襯底的材料科學和微通道的流體移動技術得到發展后，微流控技術也取得了較大的進步。為適應時代的需求，現今的研究集中在集成方面，特別是生物傳感器的研究，開發制造具有很強運行能力的多功能芯片。微流控芯片的主流加工方法。采用MEMS加工的微流控芯片技術指導

微流控芯片的未來發展與公司技術儲備：面對微流控技術向集成化、智能化發展的趨勢，公司持續投入三維多層流道加工、芯片與微納傳感器/執行器的異質集成，以及生物相容性材料創新。在技術儲備方面，已突破10μm以下尺度的納米流道加工（結合電子束光刻與納米壓印），為單分子DNA測序芯片奠定基礎；開發了基于形狀記憶合金的微閥驅動技術，實現芯片內流體的主動控制；儲備了可降解聚合物（如聚乳酸-羥基乙酸共聚物，PLGA）微流控芯片工藝，適用于體內植入式檢測設備。未來，公司將聚焦“芯片實驗室”全集成解決方案，推動微流控技術在個性化醫療、環境監測、食品安全等領域的深度應用，通過持續創新保持在微納加工與生物傳感芯片領域的技術地位。中國澳門微流控芯片服務微流控芯片定制方案。

微米級尺度微流控芯片的精密加工與應用：在0.5-5μm微米級尺度微流控芯片加工領域，公司依托MEMS光刻、深硅刻蝕及納米壓印等技術，實現亞微米級精度的微流道、微孔陣列及三維結構制造。電鏡下可見的精細流道網絡，其寬度誤差可控制在±50nm以內，適用于單分子檢測、液滴生成等超高精度場景。例如，在單分子免疫檢測芯片中，微米級微孔陣列可實現單個生物分子的捕獲與熒光信號放大，檢測靈敏度較傳統方法提升10倍以上。該尺度芯片的加工難點在于材料刻蝕均勻性與表面粗糙度控制，公司通過干濕結合刻蝕工藝與表面化學修飾技術，解決了高深寬比結構（如10:1以上）的加工瓶頸，成功應用于外泌體分選、循環腫瘤細胞捕獲等前沿生物醫學領域，為精細醫療提供器件支撐。

微流控芯片技術采用先進的MEMS和半導體跨界創新策略，是生命科學和生物醫學領域的新興科學。該技術能夠有效控制液體的物理化學反應。由于其微型縮小方法，它帶來了高質量交換和高通量。它主要用于藥物發現、蛋白質組學、藥物篩選、臨床分析和食品創新。目前，各種類型的微流控芯片用于各項領域。與傳統方法相比，微流控芯片技術在耗時和所需樣品和試劑量方面具有很大優勢。在藥物研究中，微流控創新可以與其他各種檢測設備集成，例如PCR，ESI-MS，MALDI-MS和GC-MS等。干濕結合刻蝕技術制備納米級微針，可用于組織液提取與電化學檢測器件。

心臟組織微流控芯片（HoC）是一種先進的OoC，它模仿了服用劑型或特定藥物分子后人類心臟的整體生理學。使用該芯片已經觀察到一些不良反應。Mathur等人在2015年證明了動物試驗不足以估計測試藥物分子相對于人體的確切藥代動力學和藥效學。為此，微流控芯片技術在心血管疾病研究，心血管相關藥物開發，心臟毒性分析以及心臟組織再生研究中起著至關重要的作用。Sidorov等人于2016年創建了一個I-wired HoC。他們檢測到心肌收縮，這是通過倒置光學顯微鏡測量的。此外，工程化的3D心臟組織構建體（ECTC）現在能夠在正常和患病條件下復制心臟組織的復雜生理學。圖1C顯示了心臟組織微流控芯片的示意圖，其中上層由心臟上皮細胞組成，下層由心臟內皮細胞組成。兩層都被多孔膜隔開。它還包括有助于抽血的真空室。微流控技術能夠把樣本檢測整個過程集中在幾厘米的芯片上。湖南微流控芯片 產業化

玻璃基微流控芯片經精密刻蝕與鍵合，確保高透光性與化學穩定性。采用MEMS加工的微流控芯片技術指導

深硅刻蝕工藝在高深寬比結構中的技術突破：深硅刻蝕（DRIE）是制備高深寬比微流道的主要工藝，公司通過優化Bosch工藝參數，實現了深度100-500μm、寬深比1:10至1:20的微結構加工。刻蝕過程中采用電感耦合等離子體（ICP）源，結合氟基氣體（如SF6）與碳基氣體（如C4F8）的交替刻蝕與鈍化，確保側壁垂直度>89°，表面粗糙度<50nm。該技術應用于地質勘探模擬芯片時，可精確復制地下巖層的微孔結構，用于油氣滲流特性研究；在生化試劑反應腔中，高深寬比流道增加了反應物接觸面積，使酶促反應速率提升40%。公司還開發了雙面刻蝕與通孔對齊技術，實現三維立體流道網絡加工，為微反應器、微換熱器等復雜器件提供了關鍵制造能力，推動MEMS技術在能源、環境等領域的跨學科應用。采用MEMS加工的微流控芯片技術指導