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寧波銅頂針

來源: 發布時間:2021-11-16

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    設于所述頂升頭中且連通所述凹腔與所述第二氣道的第三氣道。從而能夠通過氣管接頭實現對凹腔的充放氣。作為本發明的推薦實施方式,所述進氣機構還包括與所述氣管接頭相連的電磁閥。從而能夠通過電磁閥控制氣管接頭的充放氣。本發明采用空氣頂針的模式,替換傳統的鋼制頂針,不會有受力集中的問題,能夠對厚度為100微米以下的芯片進行剝離,而不會損傷芯片,相比現有技術取得了***的進步。附圖說明下面結合圖片來對本發明進行進一步的說明:圖1為本發明的立體視圖;圖2為本發明中a部分的局部放大圖;圖3為本發明的側視圖;圖4為本發明的b-b面剖視圖;圖5為本發明中b部分的局部放大圖;圖6為本發明中c部分的局部放大圖;圖7為本發明中支撐筒的剖視圖;圖8為本發明中真空吸頭的內部結構視圖;圖9為本發明中蓋板的底面視圖;圖10為定位盤處于初始零點時的工作視圖;圖11為定位盤處于預定角度a時的工作視圖;其中:100-橫向直線導軌,101-***軌道,102-***伺服電機,103-***絲杠,104-***滑塊,200-縱向直線導軌,201-第二軌道,202-第二伺服電機,203-第二絲杠,204-第二滑塊,310-基座,311-底板,312-豎板,313-頂板,314-通孔,320-支撐筒,321-氣嘴,322-***氣道。如圖1和圖3所示,滑塊104上還設有支架360。

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    不會碎裂。但厚度100微米以內的芯片,因為芯片本省已經非常脆弱了,芯片面積稍大時,頂針頂升,芯片受頂針的力和膜的粘力的相互作用,很容易就碎裂了。所以對于厚度100微米以內的薄芯片,迫切需要新的頂升方式從粘性膜上剝離。技術實現要素:本發明所要解決的技術問題是提供一種新型的空氣頂針式芯片膜上分離裝置,能夠對厚度在100毫米以下的芯片進行剝離,而不會損傷芯片。本發明通過如下方式解決該技術問題:一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置,包括真空吸頭,所述真空吸頭的頂壁上設有中心孔與環繞所述中心孔布置的吸氣孔,其特征在于:還包括設于所述中心孔中的頂升頭以及能夠驅動所述頂升頭頂壁高出所述真空吸頭的頂壁的升降驅動機構,所述頂升頭的頂壁上設有凹腔,所述頂升頭具有連通所述凹腔的進氣機構。使用時,將真空吸頭置于粘性膜正下方,通過真空吸頭吸住粘性膜的底面,頂升頭上升,進氣機構對凹腔內充氣,使凹腔處的粘性膜開始凸起,芯片與粘性膜逐漸分離,從而使位于芯片上方的吸嘴可以順利將芯片吸走。采用這樣剝離方式,不會有傳統鋼制頂針受力集中的問題,能夠對厚度為100微米以下的芯片進行剝離而不會損傷芯片,相比現有技術有了***的進步。寧波銅頂針

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