10.3.1潔凈廠房內的干燥壓縮空氣系統應根據各類產品生產工藝要求、供氣量和供氣品質等因素確定,并應符合下列規定:1供氣規模應按產品生產所需供氣量和計人必要損耗量確定,并應設有一定的備用供氣量;2供氣品質應根據生產工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;3供氣系統可集中設置在潔凈廠房內的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站;4應選用能耗少、噪聲低的設備,宜選用無油潤滑空氣壓縮機，5含水量要求嚴格時,宜選用加熱再生吸附干燥裝置。無塵室極主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度。浙江壓差無塵室檢測方法

16.4.22臭氧濃度的檢驗應符合下列規定：在風系統內或室內安有可產生臭氧的裝置時，除裝置本身產生的臭氧應符合現行的相關產品標準規定外，還應在系統和該裝置正常運轉條件下，檢測室內臭氧濃度。應按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現行國家標準《室內空氣質量標準》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測應符合下列規定：當對新風效果作細致確認時，可在風系統正常運行、室內處于動態條件下，于每一班次結束之前檢測室內二氧化碳濃度，按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現行國家標準《空內空氣質量標準》GB/T18883不大于0.10％的規定。16.4.24當需要測定分子態污染物濃度時，可按附錄H的方法或按建設方與檢驗方商定的方法檢測，結果應符合設計要求或雙方商定的標準。上海溫濕度無塵室檢測方法在未來，隨著科技的不斷推進，無塵室必將繼續在人類的探索和創新道路上發揮著不可或缺的作用。

11.5.1工藝設備的安裝不應影響潔凈室參數和服務功能。11.5.2工藝設備安裝時，現場的凈化空調系統應已連續運行24h以上；現場除正常照明外，應配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設備的提升、牽引或定位的**設備在進人潔凈室安裝現場前，應徹底清潔，并應檢查有無脫屑、剝落的表面或不宜進入潔凈環境的材料。11.5.4設備安裝時應妥善保護墻壁與地面，設備的軟膠輪應予包裹，避免在地面拖磨。開洞作業不應劃傷或污染所在表面。設備安裝位置穿越不同潔凈級別區域時，穿越處縫隙應用柔性材料填充、密封，并應裝飾處理。

4.2.1潔凈室可根據電子產品生產工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應包括活動地板以下的下技術夾層、潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應綜合生產工藝要求、節約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工業潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格時，宜采用微環境等型式。潔凈廠房中主要以垂直構件分隔構成的井式管廊,用于安裝輔助設備和公用動力設施以及管線等。

12.2.1排煙管道的安裝試驗應符合本規范第5章的有關規定。12.2.2排煙管道的隔熱層應采用厚度不小于40mm的不燃絕熱材料。12.2.3磚、混凝土風道的制作應保證管道的氣密性，灰縫應飽滿，內表面水泥砂漿面層應平整。12.2.4送風口、排煙口的固定應可靠，表面應平整、無變形、調節靈活。排煙口距可燃物或可燃構件的距離不應小于1.5m。排煙口安裝時不應影響防倒灌設施正常發揮作用。排煙口應安裝板式排煙口，不應漏風。12.2.5排煙風機的安裝應符合下列規定：1當**排煙風機設在混凝土或鋼架基礎上時可不設減振裝置；若需設置減振裝置，則不應使用橡膠減振裝置。2排煙風機宜安裝在該系統比較高排煙口之上，并宜安在機房內，機房與相鄰部位隔墻應符合防火要求。在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。上海溫濕度無塵室檢測方法

一般正壓無塵室比較常見，就是讓室內的空氣壓力大于室外的壓力。浙江壓差無塵室檢測方法

2.4.1潔凈廠房的自動控制系統宜采用集散式網絡結構，并應具有穩定、可靠、節能、開放和可擴展性。12.4.2潔凈廠房應對凈化空調、供熱、供冷、純水和氣體供應等系統進行自動監控。12.4.3潔凈室（區）內外的壓差監測，宜采用壓差變送器通過控制系統調節潔凈室（區）的送風量或回風量。12.4.4凈化空調系統采用電加熱器時，電加熱器與風機應聯鎖控制，并應設置無風、超溫斷電保護；當采用電加濕器時，應設置無水、無風斷電保護。12.4.5在滿足生產工藝要求的前提下，宜對風機、水泵等動力設備采取變頻調速等節能控制措施。浙江壓差無塵室檢測方法