氦檢儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到只對氦氣反應的工作狀態)的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。影響氦檢儀靈敏度的因素包括實際檢測條件、輔助真空系統以及操作人員的技術等多方面。當發現氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質譜分析管受到了嚴重污染。氦檢儀具有性能穩定、靈敏度高的特點。江蘇全自動氦質譜檢漏儀品牌

氦質譜檢漏儀操作注意事項：1、產品放入加壓罐中加壓時，不能直接拆除加壓罐。必須先把加壓罐里面的氣體排出才能打開。由于加壓罐中壓力比空氣中的壓力大以防造成一定的傷害因此在加壓過程中不能讓不相干的人員靠近并在加壓罐上方貼一個警告標識。2、氦氣減壓閥連接氣瓶接口處要鎖緊不能有松動情況。以防氣體沖擊帶來傷害。3、產品半檢漏時，按壓住的組件不能挪動或者強行扳開。以防氣體沖擊帶來傷害。4、在進行重氟油檢漏時，產品不能直接放進油箱中，而應把油箱中的托盤拿出，把產品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飛濺燙傷。嘉興推車式氦質譜檢漏儀報價氦檢儀適用于工業、分析研究、鍍膜市場等。

氦檢儀的撿漏方法：正壓法（吸入法）?？煞譃檎婵障浞ê驼龎悍▋蓮埬Ｊ?，工件內充氦氣，吸搶檢測可根據工件漏率選擇性充入一定比例混合氦氣可檢測工件的具體漏點。檢測精度高。適用行業：特種閥門，高壓管道，制冷管路，汽輪機組等。因為空氣中含有5ppm的氦氣，正壓法檢漏靈敏度相對負壓法要低。氦檢儀正壓法有二種方式,即移動嗅探式和氦罩累積式。前者只能定性檢測大漏,后者則可定量檢測微漏。氦質譜檢漏正壓氦罩法注意事項：氦罩要專門設計,一般用金屬制作(塑料布在長時間累積中滲透量太大)。如果累積時間短,也可用0.10～0.15mm的塑料布制作。檢測時氦罩應盡量小,以便提高氦的壓升率。氦罩要密封。探測口要方便檢測。檢漏過程中,儀器靈敏度和吸頭在校準后不得進行調整,否則要重新進行校準。吸頭不應一直插在檢測口內,以免影響累積信號。在低溫探測時,環境濕度應盡量降低,被檢件應先加高壓示漏氣體而后降溫,以免小孔阻塞。

氦檢儀具有性能穩定、靈敏度高的特點。靈敏度、反應時間、清零時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦檢儀的主要性能指標。檢測氣體使用氦氣的主要原因如下：(1)對人體和自然環境沒有毒害；(2)不能燃燒，作業安全；(3)惰性氣體，和被檢測對象不會發生化學反應；(4)分子直徑和質量小，容易穿過微小縫隙，便于檢漏；(5)通常環境下保持氣體狀態，不會堵住微漏孔；(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣；(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm，容易定點查清漏氣位置。由于氦氣比空氣輕很多，向真空腔體噴氦氣檢漏時要從上往下依次操作，否則不利于判定漏點所在。當腔體構造復雜，或漏率極小時，可針對重點部位用塑料袋套住，然后向塑料袋內部充入氦氣，實現對特定重點部位的檢漏。氦質譜檢漏儀的關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。

氦檢儀是什么？氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度較高，用得較普遍的氦檢儀器。氦檢儀是磁偏轉型的質譜分析計。單級磁偏轉型儀器普遍地用于各種真空系統及零部件的檢漏。雙級串聯磁偏轉型儀器與單級磁偏轉型儀器相比較，本底噪聲明顯減小。適用于超高真空系統、零部件及元器件的檢漏。氦檢儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣。紹興自動氦質譜檢漏儀注意事項

氦檢儀為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。江蘇全自動氦質譜檢漏儀品牌

氦質譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態檢漏時所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數調整到穩定值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統仍在正常抽氣。儀器的反應時間不大于3s。所謂“可檢率”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內輸出儀表的較大的波動量，能較方便地估計檢漏效果。江蘇全自動氦質譜檢漏儀品牌