氦質譜檢漏儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標準漏孔。氦質譜檢漏儀自身保養小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養維護。氦檢儀的型號較多，但基本結構大同小異。浙江全自動氦質譜檢漏儀注意事項

氦質譜檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩定，電壓過高會燒壞電源，嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應連接穩壓電源(UPS)。②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。③氦質譜檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養，保養的項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。靈敏度、反應時間、消除時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質譜檢漏儀的主要性能指標。寧波國產氦質譜檢漏儀單位氦檢儀在壓力容器中的常用方法有哪些？

氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到只對氦氣反應的工作狀態)的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小重量輕并且有滲透能力強的優點，達到了細檢漏的目的。

氦質譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護？當發現檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質譜分析管受到了嚴重污染。這個時候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內表面及離子源各電極部件，不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油或無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；然后用烘箱或電吹風進行干燥。如果操作正確，經過清洗維護后的氦質譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。

氦檢儀在真空度校驗中有什么應用？氦是一種惰性氣體，不會對設備產生腐蝕，不與真空器件起化學反應，無毒，也不會污染環境，因此使用起來也十分安全。對容器環境和質譜環境干擾較小，常作為泄漏氣體使用。在接有氦檢儀(即調整到只對氦氣反應的工作狀態的氣體剖析儀)的被檢容器上噴射該氣體，如果容器有漏孔，分析儀就會發出響聲，從而知道漏孔的位置和漏氣量。氦質譜檢測泄漏技術是真空檢測領域中不可缺少的一項技術，由于其檢測效率高、簡便易行、儀器反應靈敏、準確度高、不受其它氣體干擾等特點，在電阻爐檢測泄漏中被普遍應用。氦檢儀是對密封容器的泄漏進行快速定位和定量測量的儀器。智能氦質譜檢漏儀價錢

氦質譜檢漏儀安裝時要避免安裝部位出現泄漏，可用儀器進行自身檢漏。浙江全自動氦質譜檢漏儀注意事項

氦檢儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優點而被普遍應用于壓力容器、航空航天、原子能、發電廠、制冷工業等領域。氦檢儀在使用過程中，往往會因為產生的一些故障或是現象，而影響檢漏工作的正常進度，若對其置之不理還會危及氦檢儀的使用壽命。其中的有些故障或現象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解氦檢儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。氦檢儀熱管檢漏：熱管需要檢漏原因：熱管內部填充特殊液體用來增強熱傳導性能，如果熱管本身存在漏點，首先會影響熱管的導熱性能；其次由于熱管都是安裝在設備內部，如果發生泄漏，里面封裝的液體就會流出，嚴重污染和影響設備的正常運轉，所以熱管生產企業，都會采用氦檢儀對熱管進行檢漏。浙江全自動氦質譜檢漏儀注意事項