真空腔體功能:真空腔體是整個設備的主要部分,用于容納待鍍膜物體和鍍膜材料。材料:腔體通常由不銹鋼材料制作,以確保其不生銹、堅實耐用。規格:根據加工產品的要求,真空腔的大小會有所不同,目前應用較多的規格有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。連接閥:真空腔體的各部分配備有連接閥,用于連接各抽氣泵浦。 抽氣系統功能:抽氣系統用于將腔體中的氣體抽出,以建立所需的高真空環境。組成:主要由機械泵、增壓泵(羅茨泵)、油擴散泵等組成,有時還包括低溫冷阱和Polycold等輔助設備。工作原理:機械泵先將真空腔抽至小于2.0×10^-2Pa左右的低真空狀態,為擴散泵后繼抽真空提供前提。之后,當...
可精確控制薄膜特性: 厚度控制精確:真空鍍膜機可以精確控制薄膜的厚度。在蒸發鍍膜中,通過控制鍍膜材料的蒸發速率和鍍膜時間,能夠準確地得到想要的薄膜厚度。例如,在光學鍍膜中,為了達到特定的光學性能,需要將薄膜厚度控制在納米級精度。一些先進的真空鍍膜機可以通過光學監測系統實時監測薄膜厚度,當達到預設厚度時自動停止鍍膜過程。 成分和結構可控:無論是 PVD 還是 CVD 方式,都可以對薄膜的成分和結構進行控制。在 PVD 濺射鍍膜中,通過選擇不同的靶材,可以獲得不同成分的薄膜。而且可以采用多層濺射的方式,構建具有特定結構的多層薄膜。在 CVD 過程中,通過調整氣態前驅體的種類、濃度和...
應用范圍: 真空鍍膜機廣泛應用于電子、光學、裝飾、機械等領域: 電子行業:用于制造集成電路、平板顯示器等。 光學領域:用于生產高質量的光學鏡片和濾光片。 裝飾領域:為各種產品提供美觀、耐磨的表面鍍膜,如手表、表帶、眼鏡、首飾等裝飾品鍍超耐磨裝飾(金銀)納米膜和納米疊層膜。 其他領域:還應用于光伏、工具鍍膜、功能鍍膜等領域。 技術特點: 高真空度:真空鍍膜機需要在高真空度下進行鍍膜,以確保薄膜的質量和性能。 薄膜均勻性:通過精確控制鍍膜過程中的各種參數,可以實現薄膜在厚度和化學組分上的均勻性。 多種鍍膜方式:可以根據不同的應用需求選擇不同...
開機操作過程中的注意事項: 按照正確順序開機:嚴格按照設備制造商提供的開機操作流程進行開機。通常先開啟總電源,然后依次開啟冷卻系統、真空系統、控制系統等。例如,在開啟真空系統時,要等待真空泵預熱完成后再啟動抽氣程序,避免真空泵在未預熱的情況下強行工作,減少泵的損耗。 緩慢升壓和升溫:在啟動真空系統后,抽氣過程要緩慢進行,避免過快地降低真空室壓力,對真空室壁造成過大的壓力差。對于有加熱裝置的鍍膜設備,如蒸發鍍膜機中的蒸發源加熱,升溫過程也要緩慢。過快的升溫可能導致蒸發源材料的不均勻受熱,縮短蒸發源的使用壽命,同時也可能損壞加熱元件。 設備采用模塊化設計,可快速更換鍍膜源以適應不同...
蒸發鍍膜機: 原理與構造:蒸發鍍膜機利用高溫加熱使鍍膜材料蒸發,氣態原子或分子在工件表面凝結成膜。它主要由真空室、蒸發源、工件架和真空系統構成。電阻加熱、電子束加熱、高頻感應加熱是常見的蒸發源加熱方式。電阻加熱通過電流流經電阻材料產生熱量;電子束加熱則依靠高能電子束轟擊鍍膜材料,使其快速升溫蒸發;高頻感應加熱利用交變磁場在鍍膜材料中產生感應電流實現加熱。應用場景蒸發鍍膜機在光學領域應用多樣,如為各種光學鏡片鍍制增透膜、反射膜,提升鏡片的光學性能。在包裝行業,常用于在塑料薄膜表面鍍鋁,賦予薄膜良好的阻隔性能與金屬光澤,提升產品的保存期限與外觀。 真空鍍膜機在太陽能電池領域可降低反射率并...
應用范圍: 真空鍍膜機廣泛應用于電子、光學、裝飾、機械等領域: 電子行業:用于制造集成電路、平板顯示器等。 光學領域:用于生產高質量的光學鏡片和濾光片。 裝飾領域:為各種產品提供美觀、耐磨的表面鍍膜,如手表、表帶、眼鏡、首飾等裝飾品鍍超耐磨裝飾(金銀)納米膜和納米疊層膜。 其他領域:還應用于光伏、工具鍍膜、功能鍍膜等領域。 技術特點: 高真空度:真空鍍膜機需要在高真空度下進行鍍膜,以確保薄膜的質量和性能。 薄膜均勻性:通過精確控制鍍膜過程中的各種參數,可以實現薄膜在厚度和化學組分上的均勻性。 多種鍍膜方式:可以根據不同的應用需求選擇不同...
真空系統維護: 真空泵保養: 定期換油:真空泵油是真空泵正常運行的關鍵。一般根據使用頻率和泵的型號,每 3 - 6 個月更換一次真空泵油。因為長時間使用后,泵油會受到污染,含有雜質,這會影響泵的抽氣性能。例如,在頻繁使用真空鍍膜機的工業生產環境中,每 3 個月就應該更換一次油。 檢查密封件:密封件的良好狀態對于維持真空泵的真空度至關重要。應每月檢查一次密封件是否有磨損、老化的跡象。如果發現密封件損壞,要及時更換,否則會導致空氣泄漏,影響真空系統的性能。 刀具鍍膜機通過沉積TiN涂層延長切削工具的使用壽命。浙江濾光片真空鍍膜機磁控濺射技術在多個領域有廣泛應用,包括但不限于:...
品牌與口碑:品牌通常在技術研發、生產工藝和質量控制方面有優勢,產品質量和性能更可靠。可通過行業調研、客戶評價、展會等了解不同品牌的聲譽和市場地位。售后服務:良好的售后服務能保障設備的正常運行。供應商應能提供及時的安裝調試、操作培訓、技術支持和維修服務,響應時間短,能及時解決設備使用過程中出現的問題。價格與性價比:在滿足應用需求和質量要求的基礎上,考慮設備價格和性價比。不僅要關注設備的采購價格,還要綜合考慮設備的運行成本、維護成本、使用壽命等因素,進行的成本效益分析。光學鍍膜機采用多層干涉原理制備高精度增透/反射膜。上海望遠鏡真空鍍膜機參考價 真空系統工作原理: 真空鍍膜機工作的第一步是...
真空鍍膜機具有以下優點: 環保性好無污染物排放:真空鍍膜過程在真空環境中進行,不需要使用大量的化學溶液,不會像傳統電鍍等工藝那樣產生大量的廢液、廢氣等污染物,對環境十分友好,符合現代綠色生產的要求。 能源消耗低:相較于一些傳統鍍膜方法,真空鍍膜機在運行過程中的能源消耗相對較低。例如,在真空蒸發鍍膜中,通過精確控制加熱功率和時間,能夠高效地將膜材蒸發并沉積在基底上,減少了不必要的能源浪費。 安全性高對操作人員危害小:由于不需要使用大量有毒有害的化學藥品,也不存在電鍍過程中的強電、強酸等危險因素,因此在正常操作條件下,真空鍍膜機對操作人員的健康和安全威脅較小。 真空鍍膜機支持...
品牌與口碑:品牌通常在技術研發、生產工藝和質量控制方面有優勢,產品質量和性能更可靠。可通過行業調研、客戶評價、展會等了解不同品牌的聲譽和市場地位。售后服務:良好的售后服務能保障設備的正常運行。供應商應能提供及時的安裝調試、操作培訓、技術支持和維修服務,響應時間短,能及時解決設備使用過程中出現的問題。價格與性價比:在滿足應用需求和質量要求的基礎上,考慮設備價格和性價比。不僅要關注設備的采購價格,還要綜合考慮設備的運行成本、維護成本、使用壽命等因素,進行的成本效益分析。設備可鍍制金、銀、氧化硅等材料,滿足光學、電子行業需求。上海防水真空鍍膜機推薦貨源 真空鍍膜機具有以下優點: 環保性好無污...
生產效率高: 鍍膜速度快:真空鍍膜機的鍍膜速度相對較快,能夠在較短的時間內完成大面積、大批量的工件鍍膜,提高生產效率。例如在大規模生產電子產品外殼的鍍膜過程中,真空鍍膜機可以快速地完成表面裝飾性鍍膜或功能性鍍膜,滿足市場的大量需求。 自動化程度高:現代真空鍍膜機通常配備了先進的自動化控制系統,能夠實現鍍膜過程的自動化操作,包括工件的裝卸、真空系統的控制、鍍膜參數的調節等,減少了人工干預,降低了勞動強度和生產成本,同時提高了產品質量的穩定性和一致性。 真空鍍膜機在半導體領域用于制備芯片的金屬互連層。江蘇車燈硅油真空鍍膜機工廠直銷 建筑玻璃:陽光控制膜、低輻射玻璃、防霧防露和自清...
穩定性:設備的穩定性影響生產效率和產品質量。選擇具有良好口碑、采用零部件和成熟制造工藝的設備,可減少故障發生頻率,保證鍍膜過程的連續性和一致性。維護性:設備的維護難易程度和維護成本很重要。結構設計合理、易于拆卸和維修、零部件通用性強的設備,可降低維護難度和成本。同時,設備供應商應能提供及時的技術支持和充足的備品備件。自動化程度:自動化程度高的設備可減少人工操作誤差,提高生產效率和產品質量穩定性。如具備自動鍍膜參數設置、監控和調整功能,以及故障診斷和報警功能的設備更受歡迎。光學鍍膜真空設備采用多腔體設計,可同時進行多層介質膜的鍍制。面罩變色真空鍍膜機推薦貨源 離子鍍膜機: 原理與構造:離...
蒸發鍍膜機原理:通過加熱使鍍膜材料蒸發,蒸發后的原子或分子在基體表面沉積形成薄膜。應用行業:在光學領域,用于制造增透膜、反射膜等光學薄膜,以提高光學元件的性能;在裝飾行業,可在飾品、五金件等表面鍍上金、銀等金屬膜,提升美觀度和價值。濺射鍍膜機原理:利用高能粒子轟擊靶材,使靶材原子或分子濺射出來,沉積在基體表面形成薄膜。應用行業:在電子行業,用于半導體芯片制造,如在硅片上濺射金屬電極、絕緣層等;在玻璃鍍膜領域,可制備低輻射膜、太陽能電池減反射膜等。真空鍍膜機在太陽能電池領域,可制備減反射膜提高光電轉換效率。浙江靶材真空鍍膜機定制 建筑玻璃:陽光控制膜、低輻射玻璃、防霧防露和自清潔玻璃等建筑玻璃...
薄膜質量高純度高:真空環境是真空鍍膜機的一大優勢。在高真空狀態下,鍍膜室內的雜質氣體極少。例如,在氣相沉積(PVD)過程中,蒸發或濺射出來的鍍膜材料原子或分子在幾乎沒有空氣分子干擾的情況下飛向基底。這使得沉積在基底上的薄膜純度很高,避免了雜質混入導致薄膜性能下降。致密性好:通過真空鍍膜形成的薄膜通常具有較好的致密性。以濺射鍍膜為例,被濺射出來的材料原子具有一定的動能,它們在撞擊基底表面時能夠緊密排列,形成致密的薄膜結構。這種致密的薄膜可以有效防止外界物質的滲透,比如在鍍制防護薄膜時,能夠更好地起到防潮、防腐蝕等作用。附著力強:真空環境有助于提高薄膜與基底之間的附著力。在鍍膜過程中,基底表面在真...
膜體材料的釋放:在真空環境中,膜體材料(如金屬、合金、化合物等)通過加熱蒸發或濺射的方式被釋放出來。蒸發過程通常涉及加熱蒸發源,使膜體材料蒸發成氣態分子;濺射過程則利用高能粒子(如離子)轟擊靶材,使靶材原子或分子被濺射出來。 分子的沉積:蒸發或濺射出的膜體分子在真空室內自由飛行,并沉積在基材表面。在沉積過程中,分子會經歷吸附、擴散、凝結等階段,形成一層或多層薄膜。 薄膜的固化:鍍膜完成后,需要對真空鍍膜機進行冷卻,使薄膜在基材上固化。這一過程有助于增強薄膜與基材的結合力,提高薄膜的穩定性和耐久性。 光學鏡片、手機玻璃、LED芯片等領域均依賴其實現功能強化。江蘇太陽鏡真空鍍膜機生產廠家...
生產效率高: 鍍膜速度快:真空鍍膜機的鍍膜速度相對較快,能夠在較短的時間內完成大面積、大批量的工件鍍膜,提高生產效率。例如在大規模生產電子產品外殼的鍍膜過程中,真空鍍膜機可以快速地完成表面裝飾性鍍膜或功能性鍍膜,滿足市場的大量需求。 自動化程度高:現代真空鍍膜機通常配備了先進的自動化控制系統,能夠實現鍍膜過程的自動化操作,包括工件的裝卸、真空系統的控制、鍍膜參數的調節等,減少了人工干預,降低了勞動強度和生產成本,同時提高了產品質量的穩定性和一致性。 真空鍍膜機在半導體領域用于制備芯片的金屬互連層。江蘇五金真空鍍膜機 檢查冷卻系統:如果真空鍍膜機帶有冷卻系統,開機前要檢查冷卻液...
具體應用功能裝飾功能:真空鍍膜可以為各種物品增加外觀的光澤和彩度,提升美觀度。例如,用于手表、表帶、眼鏡、首飾等裝飾品,可以鍍上超耐磨裝飾(金銀)納米膜和納米疊層膜,使其更加閃耀和耐用。保護功能:鍍膜層可以保護基材免受氧化、腐蝕、磨損等外界因素的侵蝕,從而延長物品的使用壽命。例如,在汽車行業中,活塞、活塞環、合金輪轂等部件通過真空鍍膜可以提高其抗氧化、耐磨和防腐蝕能力。光學性能提升:對于光學鏡片、鏡頭等物品,通過真空鍍膜可以提高其透光率和防反射能力,從而增強光學性能。導電性和導熱性改善:真空鍍膜可以在一些需要良好導電或導熱性能的材料表面鍍上金屬膜層,從而提高其導電性和導熱性能。其他特殊功能:根...
離子鍍膜機: 原理與構造:離子鍍膜機將蒸發鍍膜與濺射鍍膜相結合,鍍膜材料在蒸發過程中部分被電離成離子,這些離子在電場作用下加速沉積到工件表面。其由真空室、蒸發源、離子源、工件架和真空系統組成。根據離子產生方式和鍍膜工藝,離子鍍膜機可分為空心陰極離子鍍膜機、多弧離子鍍膜機等。空心陰極離子鍍膜機利用空心陰極放電產生等離子體;多弧離子鍍膜機則通過弧光放電使靶材蒸發并電離。應用場景在刀具涂層領域,離子鍍膜機為刀具鍍制氮化鈦、碳化鈦等硬質薄膜,提升刀具的硬度、耐磨性和切削性能,延長刀具使用壽命。在手表、珠寶等裝飾行業,鍍制氮化鈦等仿金薄膜,提升產品的美觀度和附加值。 現代真空鍍膜機配備智能控制...
空心陰極離子鍍膜機原理:利用空心陰極放電產生高密度的等離子體,使鍍膜材料離子化,然后在基體表面沉積形成薄膜。應用行業:在機械制造領域,可在模具、刀具表面鍍上氮化鈦、碳化鈦等硬質涂層,提高模具和刀具的耐磨性、抗腐蝕性和脫模性能;在航空航天領域,用于在發動機葉片等零部件表面鍍上耐高溫、抗氧化的涂層。多弧離子鍍膜機原理:通過多個電弧蒸發源產生金屬離子,在基體表面沉積形成薄膜,具有鍍膜速度快、膜層附著力強等特點。應用行業:在裝飾行業,多樣用于手表表帶、眼鏡框等表面鍍制各種顏色的裝飾膜,如金色、玫瑰金色等;在醫療器械領域,可在醫療器械表面鍍上生物相容性好的金屬膜或陶瓷膜,提高醫療器械的抗腐蝕性和生物相容...
蒸發鍍膜原理: 氣相沉積 - PVD 的一種)蒸發鍍膜是真空鍍膜機常見的工作方式之一。在蒸發源(如電阻加熱蒸發源、電子束加熱蒸發源等)中放置鍍膜材料。以電阻加熱蒸發源為例,當電流通過高電阻的加熱絲(如鎢絲)時,加熱絲會產生熱量。如果將鍍膜材料放置在加熱絲上或加熱絲附近,鍍膜材料會吸收熱量,當達到其熔點和沸點時,就會從固態轉變為氣態。例如,在鍍金屬薄膜(如鋁膜)時,鋁的熔點為 660℃左右。當加熱絲使鋁材料溫度升高到沸點后,鋁原子會以蒸汽的形式逸出。這些氣態的鋁原子在真空環境下,以直線的方式向各個方向擴散,當碰到基底(如玻璃、塑料等)表面時,由于基底表面的溫度較低,鋁原子會在基底表面凝...
鍍膜均勻性高:蒸發源能夠在真空環境中較為均勻地向四周散發鍍膜材料的氣態粒子,只要合理設置工件的位置與角度,就能讓鍍膜材料均勻地沉積在工件表面,為對鍍膜均勻性要求極高的光學鏡片提供保障。操作相對簡單:設備的結構和鍍膜流程相對簡潔,對操作人員的技術門檻要求相對較低。在常規的生產環境中,工作人員經過短期培訓,便能熟練掌握設備操作,減少了人力培訓成本與時間成本。成本效益好:在批量生產時,蒸發鍍膜機的運行成本較低,尤其是采用電阻加熱方式時,設備購置成本和日常維護成本都處于較低水平,這使得包裝行業在為塑料薄膜鍍鋁時,極大地控制了生產成本,提升了經濟效益。設備采用模塊化設計,可快速更換鍍膜源以適應不同材料工...
蒸發源或濺射源功能:用于蒸發鍍膜材料或濺射靶材,使膜體材料以氣態分子的形式釋放出來。類型:不同的鍍膜方法可能使用不同類型的鍍膜源,例如電子束蒸發器、濺射靶材、真空弧放電源等。 控制系統功能:用于監控和控制整個設備的運行狀態和參數,包括真空度、溫度、壓力、時間等。組成:主要包括真空計、流量計、觸摸屏、手動操作組和各類電源。通過觸摸屏可以完成全自動程序控制。 材料輸送系統功能:用于將待鍍膜物體和鍍膜材料引入腔體,并控制其位置和運動。組成:通常包括旋轉式臺面、電機傳動、氣缸等裝置。材料輸送系統可以分為上轉架和下轉架,以滿足不同鍍膜工藝的需求。 從實驗室研發到工業化量產,真空鍍膜機以高...
關機后的維護操作: 按照正確順序關機:鍍膜完成后,按照設備制造商提供的關機流程進行關機。一般先關閉鍍膜相關的功能部件,如蒸發源或濺射靶的電源,然后關閉真空系統,等待真空室壓力恢復到正常大氣壓后,再關閉冷卻系統和總電源。這樣可以避免設備在高溫、高真空等狀態下突然斷電,減少設備的損壞風險。 清理設備內部:關機后,在真空室冷卻到安全溫度后,清理設備內部。真空室、夾具和工件架上殘留的膜材、灰塵等雜質。可以使用干凈的擦拭工具,如無塵布清潔刷,進行清理。保持設備內部的清潔可以減少下次開機時雜質對鍍膜質量的影響,同時也有助于延長設備部件的使用壽命。 真空鍍膜機通過高真空環境實現薄膜材料的精密...
高效性與高質量沉積效率高:真空鍍膜機能夠在短時間內迅速在基材表面形成均勻且致密的薄膜,有效提高了生產效率。鍍層質量優:鍍層組織致密、無氣泡,厚度均勻,具有優良的耐磨、耐腐蝕、耐高溫性能,以及良好的附著力,使得鍍件在使用過程中更加穩定可靠。 多樣的適用性:材料多樣:真空鍍膜技術可應用于各種金屬、合金、塑料、陶瓷等多種材料表面,滿足不同行業的需求。形狀多樣:無論是平面、曲面還是復雜形狀的工件,真空鍍膜機都能實現均勻鍍覆,特別適用于鍍復零件上的內孔、凹槽和窄縫等難以鍍到的部位。 光學鍍膜真空設備采用多腔體設計,可同時進行多層介質膜的鍍制。江蘇汽車飾板真空鍍膜機設備廠家 真空室清潔: ...
可精確控制薄膜特性: 厚度控制精確:真空鍍膜機可以精確控制薄膜的厚度。在蒸發鍍膜中,通過控制鍍膜材料的蒸發速率和鍍膜時間,能夠準確地得到想要的薄膜厚度。例如,在光學鍍膜中,為了達到特定的光學性能,需要將薄膜厚度控制在納米級精度。一些先進的真空鍍膜機可以通過光學監測系統實時監測薄膜厚度,當達到預設厚度時自動停止鍍膜過程。 成分和結構可控:無論是 PVD 還是 CVD 方式,都可以對薄膜的成分和結構進行控制。在 PVD 濺射鍍膜中,通過選擇不同的靶材,可以獲得不同成分的薄膜。而且可以采用多層濺射的方式,構建具有特定結構的多層薄膜。在 CVD 過程中,通過調整氣態前驅體的種類、濃度和...
常壓化學氣相沉積(APCVD)鍍膜機原理:在常壓下,利用氣態的化學物質在高溫下發生化學反應,在基體表面沉積形成固態薄膜。應用行業:在半導體制造中,用于生長二氧化硅、氮化硅等絕緣薄膜,以及多晶硅等半導體材料;在刀具涂層領域,可制備氮化鈦等硬質涂層,提高刀具的硬度和耐磨性。低壓化學氣相沉積(LPCVD)鍍膜機原理:在較低的壓力下進行化學氣相沉積,通過精確控制反應氣體的流量、溫度等參數,實現薄膜的生長。應用行業:主要應用于超大規模集成電路制造,可制備高質量的薄膜,如用于制造金屬互連層的鎢膜、銅膜等;在微機電系統(MEMS)制造中,用于沉積各種功能薄膜,如用于制造微傳感器、微執行器等的氮化硅、氧化硅薄...
多樣的材料適應性金屬材料鍍膜方便:真空鍍膜機可以很方便地對各種金屬材料進行鍍膜。例如,對于金、銀、銅、鋁等常見金屬,既可以采用蒸發鍍膜的方式,將金屬加熱蒸發后沉積在基底上,也可以通過濺射鍍膜的方式,用離子轟擊金屬靶材來獲取金屬薄膜。這些金屬薄膜在電子、裝飾等領域有廣泛應用,如鍍銀鏡、鍍鋁食品包裝膜等。非金屬材料也能鍍膜:除了金屬材料,還能對非金屬材料進行鍍膜。對于陶瓷材料、有機材料等基底,通過選擇合適的鍍膜方法和材料,可以在其上沉積薄膜。比如,在有機玻璃上通過真空鍍膜可以鍍上一層二氧化鈦薄膜,用于提高其硬度和抗紫外線性能。在半導體領域,利用 CVD 方法可以在硅等非金屬基底上沉積各種化合物薄膜...
高效性與高質量沉積效率高:真空鍍膜機能夠在短時間內迅速在基材表面形成均勻且致密的薄膜,有效提高了生產效率。鍍層質量優:鍍層組織致密、無氣泡,厚度均勻,具有優良的耐磨、耐腐蝕、耐高溫性能,以及良好的附著力,使得鍍件在使用過程中更加穩定可靠。 多樣的適用性:材料多樣:真空鍍膜技術可應用于各種金屬、合金、塑料、陶瓷等多種材料表面,滿足不同行業的需求。形狀多樣:無論是平面、曲面還是復雜形狀的工件,真空鍍膜機都能實現均勻鍍覆,特別適用于鍍復零件上的內孔、凹槽和窄縫等難以鍍到的部位。 寶來利真空鍍膜機性能穩定,膜層均勻耐磨,鐘表鍍膜,有需要可以咨詢!江蘇陶瓷真空鍍膜機參考價 蒸發源或濺射源功能...
可精確控制薄膜特性: 厚度控制精確:真空鍍膜機可以精確控制薄膜的厚度。在蒸發鍍膜中,通過控制鍍膜材料的蒸發速率和鍍膜時間,能夠準確地得到想要的薄膜厚度。例如,在光學鍍膜中,為了達到特定的光學性能,需要將薄膜厚度控制在納米級精度。一些先進的真空鍍膜機可以通過光學監測系統實時監測薄膜厚度,當達到預設厚度時自動停止鍍膜過程。 成分和結構可控:無論是 PVD 還是 CVD 方式,都可以對薄膜的成分和結構進行控制。在 PVD 濺射鍍膜中,通過選擇不同的靶材,可以獲得不同成分的薄膜。而且可以采用多層濺射的方式,構建具有特定結構的多層薄膜。在 CVD 過程中,通過調整氣態前驅體的種類、濃度和...
真空腔體功能:真空腔體是整個設備的主要部分,用于容納待鍍膜物體和鍍膜材料。材料:腔體通常由不銹鋼材料制作,以確保其不生銹、堅實耐用。規格:根據加工產品的要求,真空腔的大小會有所不同,目前應用較多的規格有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。連接閥:真空腔體的各部分配備有連接閥,用于連接各抽氣泵浦。 抽氣系統功能:抽氣系統用于將腔體中的氣體抽出,以建立所需的高真空環境。組成:主要由機械泵、增壓泵(羅茨泵)、油擴散泵等組成,有時還包括低溫冷阱和Polycold等輔助設備。工作原理:機械泵先將真空腔抽至小于2.0×10^-2Pa左右的低真空狀態,為擴散泵后繼抽真空提供前提。之后,當...