傳感系統是晶圓運送機械吸臂實現精確操作的關鍵。它猶如吸臂的“眼睛”和“神經”,實時監測吸臂的位置、姿態以及晶圓的狀態,為控制系統提供準確的數據反饋。在位置和姿態檢測方面,通常采用高精度的編碼器、陀螺儀和激光傳感器等。編碼器可以精確測量吸臂關節的旋轉角度和直線位移,從而確定吸臂在空間中的位置坐標。陀螺儀則用于監測吸臂的旋轉速度和方向變化,幫助控制系統實時調整運動姿態,確保吸臂的運動平穩和準確。激光傳感器可以對周圍環境進行掃描和測距,輔助吸臂在復雜的工作場景中避開障礙物,實現安全的晶圓搬運。單軸機械手臂作為一個組件在工業中應用***。徐州晶圓運送機械吸臂工廠 區熔法分為兩種:水平區熔法和...
機械臂的工作原理: 一般機構可由電力、液壓、氣動、人力驅動。機構有螺紋頂緊機構(如臺虎鉗)、斜鍥壓緊、 導桿滑塊機構(破碎機常用)、利用重力的自鎖機構(如抓磚頭的)等等。還有簡單的:如可用氣(液壓)缸直接夾緊的。如果是小物品,可直接購買FESTO等公司的氣動手指。 底座是用來安裝和固定機器的。 油箱是裝潤滑油或液壓油循環的。 升降位置檢測器,要么是確定物體或機器部件是否位于某幾個預定高度位置,要么是實時檢測其高度的。 手臂回轉升降機構就是機械臂在升降的同時也可以旋轉的。 手臂伸縮機構是機械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測器作用基本等同于升降位置檢測器,只...
晶圓運送機械吸臂具有高度的安全性。它采用了多重安全保護措施,如防止晶圓滑落的吸盤設計、防止碰撞的傳感器等,有效地保護了晶圓的安全。此外,晶圓運送機械吸臂還具有防靜電功能,避免了靜電對晶圓的損害,保證了產品的質量和可靠性。晶圓運送機械吸臂具有高度的靈活性和適應性。它可以根據不同的晶圓尺寸和形狀進行調整和適配,適用于各種不同的生產需求。同時,晶圓運送機械吸臂還可以與其他設備和系統進行無縫連接,實現自動化生產線的整合和優化。晶圓運送機械吸臂具有較低的維護成本和能耗。它采用了節能設計和智能控制技術,能夠有效地降低能源消耗和運行成本。同時,晶圓運送機械吸臂的維護和保養也相對簡單,減少了維修和停機時間,提...
晶圓運送機械吸臂的工作原理主要包括以下幾個步驟: 吸附:吸盤通過真空吸附原理將晶圓緊密吸附在其表面,確保晶圓在傳送過程中不會發生相對位移。 移動:傳動系統驅動機械臂按照預定軌跡進行移動,將晶圓從一處工藝設備傳送至另一處。放置:到達目標位置后,吸盤釋放真空,將晶圓放置在指定位置。 返回:完成放置動作后,吸臂返回原點,等待下一次傳送任務。 在整個工作過程中,控制系統始終監測機械臂的運動狀態,確保傳送精度和穩定性。同時,為了降低晶圓表面污染的風險,晶圓運送機械吸臂還需要配備潔凈室環境控制系統,以維持潔凈室內恒定的溫度、濕度和潔凈度。 單軸機械手臂作為一個組件在工業中應用*...
本發明涉及一種半導體制造技術,尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。 背景技術: 在半導體加工設備中,經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送,在傳送的過程中,傳送精度越高,設備工藝一致性就越好,速度越快,單臺設備的產能就越大。隨著半導體工藝的發展,設備處理的工藝越來越復雜,對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高,這就需要一種定位精度高,速度快的多自由度的機械手。 技術實現要素: 本發明針對現有技術中的不足,提供了一種晶圓搬運機械手,本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛...
年來全球硅晶圓供給不足,導致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見度分別已達2019上半年和年底。目前國內多個硅晶圓項目已經開始籌備,期望有朝一日能夠打破進口依賴,并有足夠的能力滿足市場需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中,硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟:硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型。一,晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個溫度約為2000℃,并且有碳源存在的電弧熔爐中,在高溫下,碳和沙石中的二氧化硅進行化學反應(碳氧結合,得硅),提純得純度約為98%的純硅,又稱冶金級硅,這對微電子器件來說依然不夠純,因為半導體材料的電學特性對雜質的濃度相當的敏感,因而對冶金...
目前,直拉法是生長晶圓**常用的方法了,除了直拉法之外,常用的方法還有區熔法。區熔法,簡稱Fz法。1939年,在貝爾實驗室工作的W·G·Pfann較早萌生了“區域勻平”的念頭,后來在亨利·休勒、丹·多西等人的協助下,生長出了高純度的鍺以及硅單晶,并獲得了**。這種方法是利用熱能在半導體多晶棒料的一端產生一熔區,使其重結晶為單晶。使熔區沿一定方向緩慢地向棒的另一端移動,進而通過整根棒料,使多晶棒料生長成一根單晶棒料,區熔法也需要籽晶,且**終得到的柱狀單晶錠晶向與籽晶的相同。 有X移動,Y移動,Z移動,X轉動,Y轉動,Z轉動六個自由度組成。徐州進口晶圓運送機械吸臂參考價 區熔法...
機械臂是指高精度,多輸入多輸出、高度非線性、強耦合的復雜系統。因其獨特的操作靈活性, 已在工業裝配, 安全防爆等領域得到廣泛應用。機械臂是一個復雜系統, 存在著參數攝動、外界干擾及未建模動態等不確定性。因而機械臂的建模模型也存在著不確定性,對于不同的任務, 需要規劃機械臂關節空間的運動軌跡,從而級聯構成末端位姿 [1] 。機器人系統是由視覺傳感器、機械臂系統及主控計算機組成,其中機械臂系統又包括模塊化機械臂和靈巧手兩部分。整個系統的構建模型如圖1 所示.有X移動,Y移動,Z移動,X轉動,Y轉動,Z轉動六個自由度組成。江門原裝晶圓運送機械吸臂哪里好有用于輸送半導體晶圓的機械手。具體地,該機械手...
裝配機械人 ;這燈機械臂要有較高的位姿精度,手腕具有較大的柔性。目前大多用于機電產品的裝配作業。⒌專門用途的機械臂 如醫用護理機械臂、航天用機械臂、探海用機械臂以及排險作業機械臂等。三、按操作機的位置機構形式和自由度數量分類機械臂操作機的位置機構型式是機械臂重要的外形特征,按這一類標準,機械臂可分為直角坐標型,圓柱坐標型,球(極)坐標型、關節型機械臂(或擬人機械臂)。操作機本身的軸數(自由度數)**能反應機械臂的工作能力,也是分類的重要依據。按這一分類要求,機械臂可分為4軸(自由度)、5軸(自由度)、6軸(自由度)、7軸(自由度)等機械臂。還有其它多種分類方式。基本介紹工業設計工業機械人通常由六...
確定性主要分為兩種主要類型:結構(structured)不確定性和非結構(unstructured)不確定性,非結構不確定性主要是由于測量噪聲、外界干擾及計算中的采樣時滯和舍入誤差等非被控對象自身因素所引起的不確定性。結構不確定性和建模模型本身有關,可分為系統模型①參數不確定性如負載質量、連桿質量、長度及連桿質心等參數未知或部分已知。②未建模動態高頻未建模動態,如執行器動態或結構振動等;低頻未建模動態,如動/靜摩擦力等。模型不確定性給機械臂軌跡**的實現帶來影響,同時部分控制算法受限于一定的不確定性。應用于機械臂控制系統的設計方法主要包括PID控制、自適應控制和魯棒控制等,然而由于...
多功能一體化機械臂,包括機械臂主體,所述機械臂主體由設置在該機械臂主體底部的底座、設置在底座頂部的后臂及設置在后臂頂部的前臂構成的,該種多功能一體化機械臂,改進了原有產品的缺點,本實用新型多功能一體化機械臂具有成本費用較低、占地面積較小和驅動充足的特點,本機械臂*由底座、前臂和后臂構成的,實現了占地面積小的特點,且在生產過程中由于體積較小,廠家生產成本費較低,同時工人在使用時,移動較為方便,設有的安全離合器、液壓器和液壓室,實現了本新型機械臂驅動充足的特點,在使用過程中完全依靠程序芯片控制,液壓器液壓精細不會通用性強,能適應多種作業;工藝性好,便于維修調整。南通正規晶圓運送機械吸臂市場價裝配機...
晶圓運送機械吸臂廣泛應用于半導體制造過程中的各個環節,如薄膜沉積、光刻、蝕刻、清洗、檢測等。具體應用舉例如下: 薄膜沉積:在薄膜沉積設備中,晶圓運送機械吸臂負責將晶圓從裝載室傳送至沉積室,以及在沉積完成后將晶圓送回裝載室。 光刻:在光刻設備中,吸臂需將晶圓精確傳送至光刻機工作臺,確保晶圓在曝光過程中的穩定性和精度。 蝕刻:在蝕刻設備中,晶圓運送機械吸臂需將晶圓傳送至蝕刻室,并在蝕刻完成后將其送回清洗設備。 清洗和干燥:在清洗和干燥設備中,吸臂負責將晶圓傳送至清洗槽,以及在清洗和干燥完成后將其送回下一工藝環節。 檢測:在檢測設備中,晶圓運送機械吸臂需將晶圓傳送至...
一種用于傳送晶圓的真空吸附機械手,其特征在于,包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺;設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺呈環形,所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構成所述真空氣道的其中一段;位于所述吸附絕緣凸臺內的偽絕緣凸臺,所述偽絕緣凸臺與手臂一體成型,所述真空氣道的其中一段位于所述偽絕緣凸臺內;在垂直于所述手臂的方向上,所述吸附絕緣凸臺比所述偽絕緣凸臺突出;所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。有X移動,Y移動,Z移動,X轉動,Y轉動,Z轉動六個自由度組成。江門進口晶圓運送機械吸臂市場價 車床行業機械臂又名車...
2.噴涂機械臂 這種機械臂多用于噴漆生產線上,重復位姿精度要求不高。但由于漆霧易燃,一般采用液壓驅動或交流伺服電機驅動。3.焊接機械臂 這是目前使用**多的一類機械臂,它又可分為點焊和弧焊兩類。點焊機械臂負荷大基本介紹當提到機械人時,許多人會想到有手,有腳的人型機械.不過, 這類機械人往往出現在科幻電影,***所,展覽會和玩具店中,它們與工業用的機械人大不相同. 工業機械人(Industrial Robots)簡稱為IR,它們大多為簡單的操作設備,有時會被稱為機械臂,例如:進行簡單的提起或放下動作,在機器內放入或取出工件等.不過,亦有不少工業機械人可以完全用程式控制,并可進行不同類型工作,普遍認...
晶圓是半導體行業的關鍵元件,隨著半導體行業的迅速發展,晶圓的搬運技術逐漸成為制約行業發展的關鍵因素。晶圓搬運機械手是IC裝備的**之一,其性能的優劣直接影響晶圓的生產效率和制造質量,體現著整個加工系統的自動化程度和可靠性。在晶圓加工系統中包含兩類晶圓搬運機械手:大氣機械手(FI robot) 和真空機械手(Vacuum robot)。前者將晶圓從晶圓盒中取出并放到預對準設備上,工作環境滿足一定的大氣潔凈度要求,控制精度要求相對較低。后者將晶圓從預對準設備上取下,搬運到各個工位進行刻蝕等工藝流程加工,并將加工完的晶圓搬運到接口位置,等待大氣機械手放回晶圓盒。這些工藝流程需要在真空環境下進行,機...
半導體晶圓有時在處理室內暴露在高溫中。因此,機械手有時輸送高溫的半導體晶圓。若高溫的半導體晶圓與手部接觸,則手部的溫度上升,并且配置在前臂連桿與手部之間的關節的溫度也上升。由此,安裝于關節的軸承的溫度上升。軸承的溫度上升促進該軸承內的潤滑劑的劣化。因此,與配置在上臂連桿與前臂連桿之間的關節的軸承相比,配置在前臂連桿和手部之間的關節的軸承的維護頻率較高。 晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構,而成為有特定電性功能的集成電路產品。 晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經由電弧爐提煉,鹽酸...
它通常有幾個自由度,用以抓取或移動物體(工具或工件)。”所以對工業機械臂可能理解為:擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置;它可把任一物件或工具按空間位姿(位置和姿態)的時變要求進行移動,從而完成某一工業生產的作業要求。如夾持焊鉗或焊***,對汽車或摩托車車體進行了點焊或弧焊;搬運壓鑄或沖壓成型的零件或構件;進行激光切割;噴涂;裝配機械零部件等等。編程就是讓計算機為解決某個問題而使用某種程序設計語言編寫程序代碼,并**終得到結果的過程。為了使計算機能夠理解人的意圖,人類就必須要將需解決的問題的思路、方法、和手段通過計算機能夠理解的形式告訴計算機,使得計算機能夠根據人的指令一步一步去工作,完成某種...
沖床行業機械臂又名沖床行業機械手、沖床沖壓機械手,它是用于沖床行業專門用的機械臂,沖床沖壓機械手能按照預選程序自動完成幾個規定的動作,實現物體的自動夾取和運送。在沖壓生產中,它不僅用于一臺壓力機上完成上下料工作,實現單機自動化,也可以用在由若干臺壓力機組成的流水生產線上,實現各壓力機之間工件的自動傳遞,形成自動沖壓生產線。由于機械手能方便地改變工作程序,因而在經常變換產品品種的中小件沖壓生產中,對于實現生產自動化更具有重要意義。沖床沖壓機械手由執行機構、驅動機構和電氣控制系統等組成。 對于工業應用來說,有時并不需要機械手臂具有完整的六個自由度.蘇州原裝晶圓運送機械吸臂廠家報價 晶圓運送機...
一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機械手,該真空吸附機械手包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺;設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度,故利用真空吸附機械手將晶圓傳送至所需位置之后,晶圓的背面中與真空吸附機械手接觸的位置不會形成印記,提高了晶圓的合格率。通用性強,能適應多種作業;工藝性好,便于維修調整。注塑行業機械臂常稱為注塑機機械手、塑料機機械手。江西原裝晶圓運送機械吸臂市場報價晶圓運送機械吸臂的應用非常廣,主要包括以下幾個方面:晶圓生產線:在晶...
機械臂的工作原理: 一般機構可由電力、液壓、氣動、人力驅動。機構有螺紋頂緊機構(如臺虎鉗)、斜鍥壓緊、 導桿滑塊機構(破碎機常用)、利用重力的自鎖機構(如抓磚頭的)等等。還有簡單的:如可用氣(液壓)缸直接夾緊的。如果是小物品,可直接購買FESTO等公司的氣動手指。 底座是用來安裝和固定機器的。 油箱是裝潤滑油或液壓油循環的。 升降位置檢測器,要么是確定物體或機器部件是否位于某幾個預定高度位置,要么是實時檢測其高度的。 手臂回轉升降機構就是機械臂在升降的同時也可以旋轉的。 手臂伸縮機構是機械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測器作用基本等同于升降位置檢測器,只...
本發明涉及一種半導體制造技術,尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。 背景技術: 在半導體加工設備中,經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送,在傳送的過程中,傳送精度越高,設備工藝一致性就越好,速度越快,單臺設備的產能就越大。隨著半導體工藝的發展,設備處理的工藝越來越復雜,對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高,這就需要一種定位精度高,速度快的多自由度的機械手。 技術實現要素: 本發明針對現有技術中的不足,提供了一種晶圓搬運機械手,本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛...
為了解決使用機器語言編寫應用程序所帶來的一系列問題,人們首先想到了使用助記符號來代替不容易記憶的機器指令。這種助記符號來表示計算機指令的語言稱為符號語言,也稱匯編語言。在匯編語言中,每一條用符號來表示的匯編指令與計算機機器指令一一對應;記憶難度**減少了,不僅易于檢查和修改程序錯誤,而且指令、數據的存放位置可以由計算機自動分配。用匯編語言編寫的程序稱為源程序,計算機不能直接識別和處理源程序,必須通過某種方法將它翻譯成為計算機能夠理解并執行的機器語言,執行這個翻譯工作的程序稱為匯編程序。對于半導體制造應用來說,常用的機械手臂是用來搬送晶片.東莞本地晶圓運送機械吸臂上門服務傳感系統是晶圓運送機械吸...
進行光刻: 將設計好的電路掩模,置于光刻機的紫外射線下,然后再在它的下面放置Wafer,這一刻,Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉,刻上了電路圖。然后將光刻膠去除,光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致,然后進行再次光刻。一般來說一個晶圓的電路要經過多次光刻。而隨著技術革新,極紫光刻出現了,現階段光刻的效率變得比以前更高,甚至于可以達到光刻一次完成。 注射: 在真空下,將導電材料注入晶圓的電路內部。其真空的標準比無菌室或ICU還要高出千萬倍。 此外,對于熱加工的機械手,還要考慮熱輻射,手臂要較長,以遠離熱源,并須裝有冷卻裝置。佛山本地晶圓運送機械吸臂生產廠家 6...
接下來是單晶硅生長,**常用的方法叫直拉法(CZ法)。如下圖所示,高純度的多晶硅放在石英坩堝中,并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱,溫度維持在大約1400 ℃,爐中的氣體通常是惰性氣體,使多晶硅熔化,同時又不會產生不需要的化學反應。為了形成單晶硅,還需要控制晶體的方向:坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉,把一顆籽晶浸入其中,并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉,同時慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。熔化的多晶硅會粘在籽晶的底端,按籽晶晶格排列的方向不斷地生長上去。因此所生長的晶體的方向性是由籽晶所決定的,在其被拉出和冷卻后就生長成了與籽晶內部晶格方向相同的單晶硅棒。設備具有低能耗、低噪音的特點,符合環保要...
與剛性機械臂相比較,柔性機械臂具有結構輕、載重/自重比高等特性,因而具有較低的能耗、較大的操作空間和很高的效率,其響應快速而準確,有著很多潛在的優點,在工業、**等應用領域中占有十分重要的地位。隨著宇航業及機器人業的飛速發展,越來越多地采用由若干個柔性構件組成的多柔體系統。傳統的多剛體動力學的分析方法及控制方法已不能滿足多柔體系統的動力分析及控制的要求。柔性機械臂作為簡單的非平凡多柔體系統,被用作多柔體系統的研究模型。 柔性機械臂在工業、**等應用領域中占有十分重要的地位。東莞晶圓運送機械吸臂制造價格工業機械臂是擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置。擬人手臂、手腕和手功能的機械電子裝置;...
晶圓運送機械吸臂是半導體制造過程中不可或缺的重要設備之一。它主要用于將晶圓從一個工序轉移到另一個工序,確保晶圓在整個制造過程中的安全和穩定運輸。 晶圓運送機械吸臂具有高度的自動化和精確性。它采用先進的自動控制系統,能夠準確地定位和抓取晶圓,避免了人為操作的誤差和不穩定性。通過精確的控制,晶圓可以在不同工序之間快速而安全地轉移,提高了生產效率和產品質量。其次,晶圓運送機械吸臂具有高度的可靠性和穩定性。它采用了質量高的材料和先進的制造工藝,具有良好的耐磨性和抗腐蝕性。同時,晶圓運送機械吸臂經過嚴格的測試和檢驗,確保其在長時間運行中不會出現故障或損壞,保證了生產線的連續性和穩定性。 一般也...
傳感系統是晶圓運送機械吸臂實現精確操作的關鍵。它猶如吸臂的“眼睛”和“神經”,實時監測吸臂的位置、姿態以及晶圓的狀態,為控制系統提供準確的數據反饋。在位置和姿態檢測方面,通常采用高精度的編碼器、陀螺儀和激光傳感器等。編碼器可以精確測量吸臂關節的旋轉角度和直線位移,從而確定吸臂在空間中的位置坐標。陀螺儀則用于監測吸臂的旋轉速度和方向變化,幫助控制系統實時調整運動姿態,確保吸臂的運動平穩和準確。激光傳感器可以對周圍環境進行掃描和測距,輔助吸臂在復雜的工作場景中避開障礙物,實現安全的晶圓搬運。工業機械臂距離高精度的智能制造還有很長一段路要走。汕尾正規晶圓運送機械吸臂價格便宜晶圓運送機械吸臂在半導體制...
多功能一體化機械臂,包括機械臂主體,所述機械臂主體由設置在該機械臂主體底部的底座、設置在底座頂部的后臂及設置在后臂頂部的前臂構成的,該種多功能一體化機械臂,改進了原有產品的缺點,本實用新型多功能一體化機械臂具有成本費用較低、占地面積較小和驅動充足的特點,本機械臂*由底座、前臂和后臂構成的,實現了占地面積小的特點,且在生產過程中由于體積較小,廠家生產成本費較低,同時工人在使用時,移動較為方便,設有的安全離合器、液壓器和液壓室,實現了本新型機械臂驅動充足的特點,在使用過程中完全依靠程序芯片控制,液壓器液壓精細不會車床行業機械臂又名車床自動上下料機械手、上下料機械手。東莞晶圓運送機械吸臂價位晶圓作為...
晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構,而成為有特定電性功能的集成電路產品。 晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經由電弧爐提煉,**化,并經蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達99.9%。 晶圓是制造半導體芯片的基本材料,半導體集成電路**主要的原料是硅,因此對應的就是硅晶圓。 關節式機械手因其結構復雜。廣東官方晶圓運送機械吸臂價格便宜 機械手的剛度、偏重力矩、慣性力及緩沖效果都直接影響手臂的位置精度。汕尾本地晶圓運送機械吸臂廠商 注塑行業機械臂常稱為注塑機機械手、塑料機...
近年來全球硅晶圓供給不足,導致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見度分別已達2019上半年和年底。目前國內多個硅晶圓項目已經開始籌備,期望有朝一日能夠打破進口依賴,并有足夠的能力滿足市場需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中,硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟:硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型。一,晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個溫度約為2000℃,并且有碳源存在的電弧熔爐中,在高溫下,碳和沙石中的二氧化硅進行化學反應(碳氧結合,得硅),提純得純度約為98%的純硅,又稱冶金級硅,這對微電子器件來說依然不夠純,因為半導體材料的電學特性對雜質的濃度相當的敏...