所述靶材600具有十二條側棱601,各條側棱601均經過圓角處理。在圓角處理前,所述靶材600的側棱601位置較為銳利。如果使用側棱未經圓角處理的靶材600進行濺射鍍膜,在濺射鍍膜工藝過程中,所述靶材600的側棱601位置容易發生前列放電的現象,導致鍍膜的均勻性差,影響鍍膜質量。圓角處理使得靶材側棱601鈍化,有助于防止前列放電現象的發生。利用所述靶材拋光裝置100對所述靶材600進行拋光時,將所述靶材拋光裝置100放置于所述靶材600上,使所述拋光片第二部分320表面與所述靶材600的側棱601表面相貼合,并使所述拋光片部分310表面與所述靶材濺射面610相貼合,且所述拋光片第三部分330表面與所述靶材600的側壁表面630相貼合。操作人員利用所述把手推動所述靶材拋光裝置100,所述靶材拋光裝置100相對所述靶材600移動,移動方向平行與被拋光的所述側棱601延伸方向。所述拋光片300表面的磨砂顆粒與靶材600表面相摩擦,以獲得光亮、平整的靶材600表面。
濺射過程不影響靶材合金、混合材質的比例和性質。上海Mg靶材廠家
鋁鈧合金靶材(AlSc),尺寸按需求定制,比列按需求定制,含鈧比較高能做到AlSc45wt%,質量優異,雜質含量低,歡迎新老客戶來電咨詢洽談。江陰典譽新材料科技有限公司生產的金屬鈧,品質優異,**全球。鋁鈧合金生產歷史悠久,擁有豐富的經驗,目前推出的鋁鈧合金靶材已被微電子行業大型廠商采用。相關靶材清單如下:稀土合金靶材:鋁鈧AlSc;鈰釓CeGd;鈰鎂CeMg;鈰釤CeSm;鏑鈷DyCo;鏑鐵DyFe;釓銅GdCu;釓鐵GdFe;鈥銅HoCu;鑭鋁LaAl;鑭鎳LaNi;鋁釹AlNd;釹鐵NdFe;釹鐵硼NdFe;鎳鎂鈰NiMgCe;鎳鎂鐵鈰NiMgFeCe;鋱鏑鐵TbDyFe;鋱鐵TbFe;釔鋁YAl;釔銅YCu;釔鐵YFe;釔鎂YMg;釔鎳YNi;釔鋯ZrYSb靶材價格為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。
靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.75-6mm,例如可以是5.75mm、5.76mm、5.77mm、5.78mm、5.79mm、5.8mm、5.81mm、5.82mm、5.83mm、5.84mm、5.85mm、5.86mm、5.87mm、5.88mm、5.89mm、5.9mm、5.91mm、5.92mm、5.93mm、5.94mm、5.95mm、5.96mm、5.97mm、5.98mm、5.99mm或6mm等,但不限于所列舉的數值,該范圍內其他未列舉的數值同樣適用。本發明中,所述靶材表面的硬度為20-30hv,例如可以是20hv、21hv、22hv、23hv、24hv、25hv、26hv、27hv、28hv、29hv或30hv等,但不限于所列舉的數值,該范圍內其他未列舉的數值同樣適用。本發明中,通過調整靶材表面的高度差及硬度,保證濺射強度,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。作為本發明 的技術方案,所述靶材的比較大厚度為28-30mm,例如可以是28mm、28.1mm、28.2mm、28.3mm、28.4mm、28.5mm、28.6mm、28.7mm、28.8mm、28.9mm、29mm、29.1mm、29.2mm、29.3mm、29.4mm、29.5mm、29.6mm、29.7mm、29.8mm、29.9mm或30mm等,但不限于所列舉的數值,該范圍內其他未列舉的數值同樣適用。
ITO薄膜制作過程中的影響因素 ITO薄膜在濺鍍過程中會產生不同的特性,有時候表面光潔度比較低,出現“麻點”的現象,有時候會出現高蝕間隔帶,在蝕刻時還會出現直線放射型缺劃或電阻偏高帶,有時候會出現微晶溝縫。 常用的ITO靶材是通過燒結法生產的,就是由氧化銦(In2O3)和氧化錫(SnO2)粉末按照一定的比例進行混合,通常質量比是90%In2O3和10% SnO2,形成的黑灰色陶瓷半導體(氧化銦錫,ITO)。一般通過外觀就可以了解ITO靶材的質量,深灰色是好的,相反越黑質量越差,我國生產的ITO靶材質量還可以的是黑灰色的。 研究顯示,在真空鍍膜機ITO薄膜濺鍍過程中,使用磁控濺射的方式,基底溫度控制在200℃左右可以保證薄膜85%以上高可見光透過率下,電阻率達到低,而薄膜的結晶度也隨著基底溫度的提高而提高,晶粒尺寸也逐漸增大,超過200℃后透射率趨于減弱;使用電子束蒸鍍的方式,隨著退火溫度升高,晶粒尺寸變大,表面形貌均一穩定,超過600℃后顆粒變得大小不一,形狀各異,小顆粒團聚現象嚴重,薄膜表面形貌破壞。密度也是靶材的關鍵性能指標之一。
真空鍍膜設備替代電鍍設備是發展的必然 2012年全國化學電鍍產生的污水和重金屬排放量達到3.5億噸,固體廢物達到4.1萬噸,酸性氣體達到2.3萬立方米,由于真空鍍膜設備逐漸應用到市場上,污染排放量比2011年有所下降,但仍是一個不可忽視的數據,為處理這大量的污染,大部分企業已投放了共5868.1億元在污水治理方面,464.8億元在固體廢物治理方面,974.9億元在酸性氣體治理方面,但仍然有部分企業沒有完善治理措施,造成大量污染。 使用真空鍍膜設備進行電鍍可以有效改善污染情況,它不像化學電鍍需要使用重金屬溶液和酸性溶液進行鍍膜,而是在真空環境下利用蒸發或濺射方式進行鍍膜,完全沒有污染產生,是一種綠色低碳、符合可持續發展戰略的產業,已經越來越多企業淘汰了舊方式化學電鍍而轉用真空電鍍,但還有很多企業沒意識到環保的重要性,不懂得綠色生產其實是為自己和后代創建美好生存環境的道理。 綠色環保產業是必然的發展趨勢,造成嚴重污染的化學電鍍終會退出歷史舞臺,取而代之的是真空電鍍,利用真空鍍膜機鍍膜成為主流是不可質疑的。采用閉環控制反應氣體的通入量。常州V2O5靶材貼合
對于同一種靶材,晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快。上海Mg靶材廠家
3D玻璃漸變色的應用 3D玻璃漸變色主要應用于3C產品,特別是手機領域。隨著雙玻璃加金屬邊框的盛行,3D后蓋裝飾工藝需要不斷革新。現有的裝飾工藝主要是在裝飾防爆膜上進行鍍膜絲印,再與3D玻璃貼合實現裝飾效果,外觀裝飾主要還是防爆膜紋理和鍍膜顏色搭配實現。漸變色效果可以通過多種途徑實現,包括:印刷、轉印、真空鍍膜、噴涂等。由于技術的瓶頸問題,現在量產的3D玻璃漸變主要有印刷和真空鍍膜兩種途徑。 漸變效果可大致分為同色漸變、鄰近色漸變、對比色漸變。漸變顏色的選擇對于印刷工藝的限制會小一些,選擇范圍更加寬。印刷工藝可以選擇對應顏色及對應顏色帶范圍進行印刷,能夠實現較為多元化的色彩沖撞效果,滿足設計者的不同變色需求;作為手機多會選擇的真空鍍膜裝飾工藝,對于漸變色的裝飾效果也可以達到夢幻流暢的效果,但色彩變化會有一定限制。 真空鍍膜漸變只能遵循顏色光譜變化規律:紅橙黃綠藍靛紫順序漸變,難以實現顏色的跨越,當然,有的設計者也會通過其他工藝的疊加實現更多元化的漸變效果。
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江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業生產濺射靶材和蒸發材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外**研發機構合作,整合各行業資源優勢,生產出多系列***濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬,合金,陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發展和技術積累,已經擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據客戶要求研發新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好。”的發展理念。