無損熱紅外顯微鏡的非破壞性分析（NDA）技術，為失效分析提供了 “保全樣品” 的重要手段。它在不損傷高價值樣品的前提下，捕捉隱性熱信號以定位內部缺陷，既保障了分析的準確性，又為后續驗證、復盤保留了完整樣本，讓失效分析從 “找到問題” 到 “解決問題” 的閉環更高效、更可靠。

相較于無損熱紅外顯微鏡的非侵入式檢測，這些有損分析方法雖能獲取內部結構信息，但會破壞樣品完整性，更適合無需保留樣品的分析場景，與無損分析形成互補。 熱紅外顯微鏡支持芯片、電路板等多類電子元件熱檢測。高分辨率熱紅外顯微鏡圖像分析

相較于宏觀熱像儀（空間分辨率約50-100μm），熱紅外顯微鏡通過顯微光學系統將分辨率提升至1-10μm，且支持動態電激勵與鎖相分析，能深入揭示微觀尺度的熱-電耦合失效機理。例如，傳統熱像儀能檢測PCB表面的整體熱分布，而熱紅外顯微鏡可定位某一焊點內部的微裂紋導致的局部過熱。技術發展趨勢當前，熱紅外顯微鏡正朝著更高靈敏度（如量子點探測器提升光子捕捉能力）、多模態融合（集成EMMI光子探測、OBIRCH電阻分析）及智能化方向發展，部分設備已內置AI算法自動標記異常熱點，為半導體良率提升、新能源汽車電驅系統熱管理等應用提供更高效的解決方案。高分辨率熱紅外顯微鏡圖像分析熱紅外顯微鏡助力科研人員研究新型材料的熱穩定性與熱性能 。

在國內失效分析設備領域，專注于原廠研發與生產的企業數量相對較少，尤其在熱紅外檢測這類高精度細分領域，具備自主技術積累的原廠更為稀缺。這一現狀既源于技術門檻 —— 需融合光學、紅外探測、信號處理等多學科技術，也受限于市場需求的專業化程度，導致多數企業傾向于代理或集成方案。

致晟光電正是國內少數深耕該領域的原廠之一。不同于單純的設備組裝，其從中樞技術迭代入手，在傳統熱發射顯微鏡基礎上進化出熱紅外顯微鏡，形成從光學系統設計、信號算法研發到整機制造的完整能力。這種原廠基因使其能深度理解國內半導體、材料等行業的失效分析需求，例如針對先進制程芯片的微小熱信號檢測、國產新材料的熱特性研究等場景，提供更貼合實際應用的設備與技術支持，成為本土失效分析領域不可忽視的自主力量。

當電子設備中的某個元件發生故障或異常時，常常伴隨局部溫度升高。熱紅外顯微鏡通過高靈敏度的紅外探測器，能夠捕捉到極其微弱的熱輻射信號。這些探測器通常采用量子級聯激光器等先進技術，或其他高性能紅外傳感方案，具備寬溫區、高分辨率的成像能力。通過對熱輻射信號的精細探測與分析，熱紅外顯微鏡能夠將電子設備表面的溫度分布以高對比度的熱圖像形式呈現，直觀展現熱點區域的位置、尺寸及溫度變化趨勢，從而幫助工程師快速鎖定潛在的故障點，實現高效可靠的故障排查。熱紅外顯微鏡突破傳統限制，以超分辨率清晰呈現芯片內部熱分布細節 。

選擇紅熱外顯微鏡（Thermal EMMI)品牌選擇方面，濱松等國際品牌技術成熟，但設備及維護成本高昂；國產廠商如致晟光電等，則在性價比和本地化服務上具備優勢，例如其 RTTLIT 系統兼顧高精度檢測與多模態分析。預算規劃上，需求（＞500 萬元）可優先考慮進口設備，中端（200-500 萬元）和基礎需求（＜200 萬元）場景下，國產設備是更經濟的選擇。此外，設備的可升級性、售后響應速度同樣重要，建議通過樣品實測驗證設備的定位精度、靈敏度及軟件功能，并關注量子點探測器、AI 集成等前沿技術趨勢，從而選定契合自身需求的比較好設備方案。半導體芯片內部缺陷定位是工藝優化與失效分析的關鍵技術基礎。半導體失效分析熱紅外顯微鏡用戶體驗

熱紅外顯微鏡借助圖像分析技術，直觀展示電子設備熱分布狀況 。高分辨率熱紅外顯微鏡圖像分析

致晟光電熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI）系列中的 RTTLIT P20 實時瞬態鎖相熱分析系統，采用鎖相熱成像（Lock-inThermography）技術，通過調制電信號提升特征分辨率與靈敏度，并結合軟件算法優化信噪比，實現顯微成像下超高靈敏度的熱信號測量。RTTLIT P20搭載100Hz高頻深制冷型超高靈敏度顯微熱紅外成像探測器，測溫靈敏度達0.1mK，顯微分辨率低至2μm，具備良好的檢測靈敏度與測試效能。該系統重點應用于對測溫精度和顯微分辨率要求嚴苛的場景，包括半導體器件、晶圓、集成電路、IGBT、功率模塊、第三代半導體、LED及microLED等的失效分析，是電子集成電路與半導體器件失效分析及缺陷定位領域的關鍵工具。高分辨率熱紅外顯微鏡圖像分析