隨著機械行業設備向大型化、重載化發展,臺寶艾研發多絲桿同步控制技術,滿足寬幅工作臺、重型負載的傳動需求。在大型龍門加工中心中,通過雙絲桿或四絲桿同步驅動工作臺,采用高精度光柵尺實時反饋位置信息,配合伺服驅動器的交叉耦合控制算法,將多絲桿的位置偏差控制在 ±5μm 以內。當工作臺負載達 5 噸時,多絲桿協同工作可確保運動平穩性,速度波動小于 ±3%。在半導體行業的大型真空鍍膜設備中,四組滾珠絲桿同步驅動鍍膜腔室的升降機構,實現升降速度 200mm/min,且各絲桿受力均勻性偏差≤2%,避免因偏載導致的絲桿損壞,保障設備長時間穩定運行,提升半導體鍍膜工藝的一致性與良率 。臺寶艾滾珠絲桿,C5 級精度,雙螺母預緊,適用于半導體設備納米級定位。廣州TBI滾珠絲桿資料
傳統機床滾珠絲桿的潤滑主要依靠人工定期加注潤滑油,存在潤滑不及時、不均勻等問題,影響絲桿的使用壽命和性能。智能潤滑機床滾珠絲桿配備了自動潤滑系統,該系統通過傳感器實時監測絲桿的運行狀態,包括轉速、負載、溫度等參數,根據預設的潤滑策略自動控制潤滑油的加注量和加注時間。當絲桿運行速度快、負載大時,系統自動增加潤滑頻率和油量;當絲桿處于低速或停機狀態時,減少潤滑量,避免潤滑油浪費。同時,智能潤滑系統還具備故障診斷功能,能夠及時發現潤滑管路堵塞、潤滑油不足等問題,并發出報警信號。在數控機床的實際應用中,智能潤滑機床滾珠絲桿使潤滑維護工作效率提高了 80%,絲桿的磨損量降低了 40%,有效延長了絲桿的使用壽命,降低了設備的維護成本。旋轉滾珠絲桿納米級表面處理,臺寶艾滾珠絲桿實現 ±0.5μm 重復定位,適配高級半導體工藝。
滾珠絲桿的防爬行技術與機械低速平穩性保障:針對機械低速運行時易出現的爬行現象,臺寶艾滾珠絲桿運用特殊防爬行技術。絲桿表面采用微織構處理,通過激光加工出微米級凹坑,形成潤滑油儲存單元,在低速(0.1mm/s)工況下仍能保證良好的潤滑狀態。螺母與絲桿的接觸界面采用非對稱牙型設計,降低靜摩擦力與動摩擦力差值,使摩擦力波動范圍控制在 ±8% 以內。在半導體曝光機的工作臺微調機構中,該技術確保絲桿在微小位移時運行平穩,避免圖像畸變,保證光刻精度。
深圳市臺寶艾傳動科技有限公司的 TBI 滾珠絲桿采用雙螺母預緊結構,軸向間隙控制在 10μm 以內,滿足半導體光刻機晶圓平臺納米級定位精度要求。絲桿軸體采用高碳鉻軸承鋼(GCr15),經淬火回火處理后硬度達 HRC60-62,配合研磨級滾道(表面粗糙度 Ra≤0.1μm),在半導體薄膜沉積設備中實現重復定位精度 ±5μm。針對半導體行業潔凈需求,滾珠絲桿可選配全封閉防塵罩(材質為不銹鋼),并通過真空鍍膜工藝在螺母表面形成 DLC 類金剛石涂層,降低摩擦系數至 0.008-0.012,避免金屬碎屑污染晶圓制程環境。變截面輪廓機床滾珠絲桿,優化受力分布,提高承載能力與疲勞壽命。
臺寶艾 TBI 滾珠絲桿按 JIS 標準達到 C5 級精度,螺距累積誤差≤15μm/300mm,適用于機械行業的精密傳動場景。在數控機床的 Z 軸進給系統中,絲桿的高剛性設計(長徑比≤40)可承受 2000N 的軸向載荷,配合伺服電機實現 0.001mm / 脈沖的進給分辨率。對于重型機械如注塑機模板移動機構,采用大導程(20-50mm)滾珠絲桿,通過加大滾珠直徑(φ8-φ12mm)提升額定動載荷至 150kN 以上,確保模板移動速度達 500mm/s 時的平穩性,降低機械振動對成型精度的影響。臺寶艾滾珠絲桿熱膨脹補償設計,控制溫升 5℃以內,維持加工精度。佛山鋰電設備滾珠絲桿選型
包裝機械的送料機構常采用滾珠絲桿實現穩定輸送。廣州TBI滾珠絲桿資料
針對半導體低溫工藝(如晶圓冷凍傳輸)與機械低溫設備(如液氮冷卻系統),臺寶艾滾珠絲桿具備優異的低溫適應性。采用低溫潤滑脂(如硅基脂,使用溫度 - 60℃至 + 200℃),在 - 40℃時的啟動力矩≤0.2N?m;絲桿材料選用耐低溫鋼(如 1Cr18Ni9Ti),在 - 196℃時的沖擊韌性≥100J/cm2,避免冷脆失效。在半導體晶圓冷凍測試設備中,絲桿可在 - 150℃至 + 120℃的溫度循環中穩定運轉,定位精度波動≤2μm,滿足極端溫度環境下的精密傳動需求,確保設備在特殊工況下的正常工作。廣州TBI滾珠絲桿資料