低溫等離子體，低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體分子被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。廢氣處理工程需要嚴格遵守相關環境保護法規和政策。上海石化廢氣處理原理

1990 年后，應用低溫等離子體法凈化空氣污染物的研 究在國際學術界快速發展，相關的等離子體技術陸續出現，如電子束 (electron beam) 、輝光放電 (glow discharge)、電暈放電 (corona discharge)、介質阻擋放電 (dielectric barrierdischarge) 、 射頻放電 (radio frequency discharge)、微波放電 (microwave discharge) 、 滑 動弧放電 (gliding are discharge) 等。低溫等離子體法的優點有：適用揮發性有機物濃度范 圍大，低濃度污染物適應性更高；高揮發性有機物去除率高；操作簡單，設備費用低；主要 產物CO? 、CO 和 H?O 對環境無害。上海石化廢氣處理原理廢氣處理涉及到多種技術手段，如催化氧化、濕法吸附等。

廢氣的定義：廢氣是指人類在生產和生活過程中排出的有毒有害的氣體。特別是化工廠、鋼鐵廠、制藥廠，以及煉焦廠和煉油廠等及人類生活所帶來的生活廢氣的產生，排放的廢氣氣味大，嚴重污染環境和影響人體健康。廢氣中含有污染物種類很多，其物理和化學性質非常復雜，毒性也不盡相同。燃料燃燒排出的廢氣中含有二氧化硫、氮氧化物（NOx）、碳氫化合物等；因工業生產所用原料和工藝不同，而排放各種不同的有害氣體和固體廢物，含有各種組分如重金屬、鹽類、放射性物質；汽車排放的尾氣含有鉛、苯和酚等碳氫化合物。

廢棄處理方法：蓄熱式熱氧化器，簡稱為RTO，在熱氧化裝置中計入蓄熱式熱交換器，在完成VOC預熱后便可進行氧化反應。現階段，蓄熱式熱氧化器的熱回收率已經達到了95%，且其占用空間比較小，輔助燃料的消耗也比較少。由于當前的蓄熱材料可使用陶瓷填料，其可處理腐蝕性或含有顆粒物的VOC氣體。現階段，RTO裝置分為旋轉式和閥門切換式兩種，其中，閥門切換式是較常見的一種，由2個或多個陶瓷填充床組成，通過切換閥門來達到改變氣流方向的目的。廢氣處理過程中應注重安全環保，防止發生意外事故和環境污染。

活性炭吸附工藝的優缺點，優點：適用于低濃度的各種污染物；活性炭價格不高，能源消耗低，應用起來比較經濟；通過脫附冷凝可回收溶劑有機物；應用方便，只與同空氣相接觸就可以發揮作用；活性炭具有良好的耐酸堿和耐熱性，化學穩定性較高。缺點：吸附量小，物理吸附存在吸附飽和問題，隨著吸附劑的消耗，吸附能力也變弱，使用一段時間后可能會出現吸附量小或失去吸附功能；吸附時，存在吸附的專一性問題，對混合氣體，可能吸附性會減弱，同時也存在分子直徑與活性炭孔徑不匹配，造成脫附現象；廢氣處理技術的創新需要打破傳統思維模式，勇于嘗試新的方法和手段。上海石化廢氣處理原理

廢氣處理技術的研發和應用需要加強與高校和研究機構的合作。上海石化廢氣處理原理

直燃式焚燒爐的設計是依廢氣風量，VOCs濃度及所需知破壞去除效率而定。操作時含VOCs的廢氣用系統風機導入系統內的換熱器，廢氣經由換熱器管側(Tubeside)而被加熱后，再通過燃燒器，這時廢氣已被加熱至催化分解溫度(650~1000℃)，并且有足夠的留置時間(0.5~2.0秒)。這時會發生熱反應，而VOCs被分解為二氧化碳及水氣。之后此一熱且經凈化氣體進入換熱器之殼側(shellside)將管側(tubeside)未經處理的VOC廢氣加熱，此換熱器會減少能源的消耗(甚至于某適當的VOCs濃度以上時便不需額外的燃料)，然后，凈化后的氣體從煙囪排到大氣中。上海石化廢氣處理原理