探針臺由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。而定子在加工過程中生產廠家根據不同的設計要求如分辨力等,用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機的齒距,而定子則按不同的細分控制方式,按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現步進運動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進精度及設備使用壽命,損壞嚴重將造成設備無法使用而報廢。由于平面電機的定子及動子是完全暴露在空氣中,所以潮濕的環境及長時期保養不當將很容易使定子發生銹蝕現象,另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷,而影響平面電機的步進精度及使用壽命。主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術指標。山西智能探針臺機構
對于當今的多芯片(multi-diepackages)封裝,例如堆疊芯片級封裝(SCSP)或系統級封裝(SiP)–開發用于識別已知測試芯片(KTD)和已知良好芯片(KGD)的非接觸式(RF)探針對提高整體系統產量至關重要。晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執行任何測試電路。一些公司從這些劃線測試結構中獲得大部分有關器件性能的信息。當特定芯片的所有測試圖案都通過時,它的位置會被記住,以便以后在IC封裝過程中使用。有時,芯片有內部備用資源可用于修復(即閃存IC);如果它沒有通過某些測試模式,則可以使用這些備用資源。山西智能探針臺機構盡管隨著探針壓力的增強,接觸電阻逐漸降低,終它會達到兩金屬的標稱接觸電阻值。
初TI退休工程師杰克·基比(JackSt.ClairKilby)發明顆單石集成電路,為現代半導體領域奠定基礎時,晶圓直徑不過1.25英寸~2英寸之間,生產過程多以人工方式進行。隨著6英寸、8英寸晶圓的誕生,Align/Load的校準工作和一些進階檢測也開始自動化;直到12英寸晶圓成形,可謂正式邁入“單鍵探測”(OneButtonProbing)的全部自動化時代,就連傳輸也開始借助機器輔助;但此時的測試大都是轉包給專業的廠商做,且大部分是著重在如何縮短工藝開發循環的參數測試上。
如果需要一款高量測精度的探針臺,并不是有些廠商單純的認為,通過簡單的機械加工加上一臺顯微鏡就可以完成,我們在探針臺設備的研發中有著近二十年的經驗,并有著精細機械加工的技術能力,可以為您提供高準確的探針臺電學檢測儀器,同時我們與世界電學信號測試廠家有著多年的合作,可以提供各類電學測試解決方案。在對射頻設備進行原型設計和測試時,很多情況下,在電路的非端口位置進行測試有助于優化設計或者故障排除。然而實際操作中,在較高的頻率下進行測試是一項更大的挑戰。如果發現問題,就需要復雜的診斷過程和人工分析,才能找到問題的原因。
手動探針臺的使用方式:1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關,使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點,再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。5.確保針尖和被測點接觸良好后,則可以通過連接的測試設備開始測試。常見故障的排除當您使用本儀器時,可能會碰到一些問題,下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術參數。實現芯片測試的途徑就是探針卡。山西智能探針臺機構
磁場探針臺主要用于半導體材料、微納米器件、磁性材料。山西智能探針臺機構
探針臺工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無有害氣體的環境中,滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油,但不可過多,值得指出的是,這種結構的工作臺在裝配過程中,從直線導軌的直線性,上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性,定位精度等都是用專業的儀器儀表調整,用戶一般情況不能輕易改變,一旦盲目調整后很難恢復到原來的狀態,所以對需要調整的工作臺應有專業生產廠家或經過培訓的專業人員完成。山西智能探針臺機構