設(shè)置單獨防爆墻,采用A級防火材料。分容柜配置熱電偶陣列,實時監(jiān)測電芯溫度梯度。當(dāng)溫差超過5℃時自動啟動冷卻系統(tǒng),通過液冷板將電芯溫度控制在25±2℃范圍。采用化學(xué)過濾機組與FFU機組組合方案,對0.1μm顆粒過濾效率達99.9995%。光刻機臺設(shè)置單獨百級潔凈罩,通過層流送風(fēng)維持正壓環(huán)境。配置自動物料搬運系統(tǒng)(AMHS),減少人員干預(yù)。設(shè)置單獨除濕系統(tǒng),將濕度控制在35±5%RH范圍。膠合臺配置顯微鏡,通過圖像處理系統(tǒng)實時檢測膠層厚度。采用UV固化燈時,設(shè)置單獨排風(fēng)系統(tǒng),將臭氧濃度控制在0.1ppm以下。光學(xué)鏡片研磨需無塵環(huán)境,配合層流罩,顆粒物濃度≤35粒/m3。江蘇保護膜無塵車間工程
鋰電池作為新能源產(chǎn)業(yè)的重要組件,其性能與安全性直接取決于生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度。從極片制造到電芯組裝,再到化成與分容,每一道工序均需在嚴(yán)格的無塵環(huán)境中進行。以正極材料涂布為例,若空氣中的水分含量超過1ppm,可能導(dǎo)致鈷酸鋰等材料發(fā)生水解反應(yīng),進而影響電池容量與循環(huán)壽命。因此,鋰電池生產(chǎn)線通常要求車間露點溫度低至-60℃,濕度控制在1%RH以下。廣東楚嶸公司針對鋰電池生產(chǎn)特性,開發(fā)了多級凈化與濕度控制解決方案。其設(shè)計的無塵車間采用轉(zhuǎn)輪除濕機組與低溫再生系統(tǒng)組合,通過硅膠或分子篩吸附空氣中的水分,再利用高溫蒸汽再生吸附劑,實現(xiàn)持續(xù)深度除濕。廣東實驗室無塵車間報價半導(dǎo)體黃光區(qū)無塵車間,紫外光泄漏量≤1μW/cm2,保護光刻膠。
無塵車間的潔凈等級是如何劃分,常用的無塵車間潔凈等級劃分依據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1等。以每立方米空氣中不同粒徑粒子的數(shù)量為標(biāo)準(zhǔn),百級無塵車間0.5微米的比較大容許粒子濃度小于3520(pc/m3),5微米的比較大容許粒子濃度小于293(pc/m3);千級無塵車間0.5微米的比較大容許粒子濃度小于35200(pc/m3),5微米的比較大容許粒子濃度小于2930(pc/m3);萬級無塵車間0.5微米的比較大容許粒子濃度小于352000(pc/m3),5微米的比較大容許粒子濃度小于29300(pc/m3);十萬級無塵車間每立方米空氣中直徑大于等于0.5um的灰塵粒的數(shù)量少于10萬個。不同行業(yè)根據(jù)自身產(chǎn)品特性和生產(chǎn)工藝,選擇合適潔凈等級的無塵車間。
在現(xiàn)代工業(yè)的重要地帶,無塵車間如同一個個與凡塵隔絕的精密堡壘,以其不可思議的潔凈度,成為無數(shù)先進技術(shù)誕生的搖籃。它絕非是簡單的“干凈房間”,而是通過精密復(fù)雜的工程系統(tǒng)對空氣進行近乎苛刻的控制。在這里,空氣的每一絲流動都被精心設(shè)計,從經(jīng)過多重過濾的新風(fēng)送入,到受控氣流的持續(xù)置換(通常采用層流方式),塵埃粒子被高效過濾器(HEPA或ULPA)層層捕獲、排除,直至達到預(yù)定的嚴(yán)苛等級——如ISO 1級意味著每立方米空氣中大于0.1微米的粒子不得超過10個。溫度、濕度、氣壓差亦被穩(wěn)定在極窄的波動區(qū)間內(nèi),為那些對微觀環(huán)境變化極其敏感的制造或研究活動,筑起一道無形的純凈屏障,確保每一次操作都在理想的“潔凈”中展開。模塊化潔凈棚,快速搭建,靈活適配不同生產(chǎn)需求。
半導(dǎo)體制造是無塵車間應(yīng)用特別的領(lǐng)域之一。在芯片生產(chǎn)過程中,微小的塵埃顆粒或污染物都可能導(dǎo)致電路短路、漏電或性能下降,甚至使整個芯片報廢。因此,半導(dǎo)體制造對無塵車間的潔凈度要求極高,通常需要達到ISO 1級或更高的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。無塵車間通過高效的空氣過濾系統(tǒng)、嚴(yán)格的氣流組織設(shè)計和精密的環(huán)境控制,為半導(dǎo)體制造提供了一個幾乎無塵、無菌的生產(chǎn)環(huán)境。在半導(dǎo)體制造中,無塵車間面臨著諸多技術(shù)挑戰(zhàn)。首先,隨著芯片特征尺寸的不斷縮小,對潔凈度的要求也越來越高。激光干涉儀監(jiān)測,振動精度達0.1μm,確保設(shè)備穩(wěn)定性。浙江實驗室無塵車間廠房改造
光學(xué)纖維對接在無塵車間進行,插入損耗≤0.2dB,信號傳輸穩(wěn)定。江蘇保護膜無塵車間工程
鋰電池極片制造對水分極度敏感,DP需控制在-40℃至-60℃范圍。采用轉(zhuǎn)輪除濕機組與低溫再生系統(tǒng)組合,可將車間濕度穩(wěn)定在1%RH以下。正極材料涂布工序設(shè)置單獨微環(huán)境艙,通過層流罩維持局部百級潔凈度,配合在線水分檢測儀實時監(jiān)控,確保極片涂層致密性。設(shè)置單獨溫控區(qū),通過液冷機組實現(xiàn)±0.5℃溫度波動控制。老化架間距按1.5倍電池直徑設(shè)計,確保自然對流散熱效率。配置VOC氣體探測器,實時監(jiān)測電解液揮發(fā)物濃度,聯(lián)動排風(fēng)系統(tǒng)維持負(fù)壓環(huán)境。江蘇保護膜無塵車間工程
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