光學(xué)器件制造,如鏡頭、棱鏡、濾光片等,對(duì)無(wú)塵車間的需求同樣迫切。光學(xué)器件的表面質(zhì)量直接影響其光學(xué)性能,如透光率、反射率和成像質(zhì)量等。因此,在光學(xué)器件制造過(guò)程中,必須嚴(yán)格控制車間內(nèi)的塵埃顆粒和污染物,以避免對(duì)器件表面造成劃傷或污染。與半導(dǎo)體制造相比,光學(xué)器件制造對(duì)無(wú)塵車間的特殊需求主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:一是車間內(nèi)的氣流組織需要更加均勻,以避免塵埃顆粒在器件表面沉積;二是車間內(nèi)的溫濕度控制需要更加精確,以避免器件因熱脹冷縮而產(chǎn)生形變;三是車間內(nèi)的振動(dòng)控制需要更加嚴(yán)格,以避免對(duì)精密光學(xué)加工設(shè)備造成影響。為了滿足這些特殊需求,光學(xué)器件制造無(wú)塵車間通常采用更加先進(jìn)的空氣過(guò)濾系統(tǒng)、更加精密的氣流組織設(shè)計(jì)和更加嚴(yán)格的環(huán)境控制措施。鋰電池極片涂布在無(wú)塵車間進(jìn)行,涂層厚度誤差控制在±1μm內(nèi)。福建彩鋼板無(wú)塵車間咨詢
鋰電池拆解過(guò)程易產(chǎn)生粉塵污染,對(duì)無(wú)塵車間的粉塵控制要求極高。設(shè)計(jì)的無(wú)塵車間,采用了先進(jìn)的下吸式集塵裝置和防爆型真空吸塵器,將粉塵濃度控制在1mg/m3以下。同時(shí),楚嶸公司還注重環(huán)保處理,對(duì)收集的粉塵進(jìn)行專業(yè)處理,確保符合環(huán)保要求。車間內(nèi)還設(shè)置了氣體檢測(cè)儀和緊急排風(fēng)系統(tǒng),確保拆解過(guò)程的安全性和環(huán)保性。光刻工序?qū)o(wú)塵車間的潔凈度要求極高,直接影響光刻精度。設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體光刻無(wú)塵車間,采用了先進(jìn)的空氣凈化系統(tǒng)和化學(xué)過(guò)濾機(jī)組,對(duì)0.1μm顆粒過(guò)濾效率達(dá)99.9995%。在光刻機(jī)臺(tái)周圍,楚嶸公司設(shè)置了單獨(dú)的百級(jí)潔凈罩,通過(guò)層流送風(fēng)維持正壓環(huán)境,確保了光刻膠涂布與曝光過(guò)程的潔凈度。同時(shí),車間內(nèi)還配備了在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng),實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)潔凈度等關(guān)鍵參數(shù),確保光刻精度的穩(wěn)定性。江蘇實(shí)驗(yàn)室無(wú)塵車間機(jī)電安裝VOCs排放≤10mg/m3,環(huán)保達(dá)標(biāo),助力綠色生產(chǎn)。
無(wú)塵車間設(shè)計(jì)需綜合多方面關(guān)鍵因素。首先是工藝流程和建筑平面布置,要根據(jù)生產(chǎn)工藝特點(diǎn),合理規(guī)劃設(shè)備擺放和人員流動(dòng)路線,避免交叉污染。例如電子芯片制造車間,需將光刻、蝕刻等關(guān)鍵工序設(shè)置在潔凈度高的區(qū)域。其次是建筑構(gòu)造和材料選擇,墻體、地面、天花板材料要具備防塵、防靜電、易清潔等特性,如選用彩鋼板作為墻體材料。還要依據(jù)當(dāng)?shù)啬茉垂?yīng)背景,選定可靠且經(jīng)濟(jì)的冷、熱源,滿足車間溫濕度控制需求。同時(shí),要合理劃分和布置空調(diào)凈化和排風(fēng)系統(tǒng),確保空氣凈化效果和氣流組織合理,以滿足不同潔凈等級(jí)要求。
無(wú)塵車間,亦稱為潔凈室或無(wú)塵室,是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電等控制在某一需求范圍內(nèi)的特別設(shè)計(jì)房間。其目的作用在于控制產(chǎn)品所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在良好環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,為眾多行業(yè)提供穩(wěn)定、可靠的生產(chǎn)環(huán)境。無(wú)塵車間的潔凈度等級(jí)一般分為十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)、三十萬(wàn)級(jí)6個(gè)等級(jí)。不同等級(jí)適用于不同生產(chǎn)需求,等級(jí)越高,潔凈度要求越嚴(yán)格。例如,千級(jí)無(wú)塵車間將某房間內(nèi)每立方米大于或等于0.1微米的塵埃粒子數(shù)量控制在1000個(gè)以內(nèi),廣泛應(yīng)用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品生產(chǎn)、測(cè)試等領(lǐng)域。楚嶸無(wú)塵車間,采用BIM技術(shù)優(yōu)化氣流,死角區(qū)潔凈度提升40%。
采用垂直單向流與水平單向流混合送風(fēng)模式,在電芯堆疊區(qū)設(shè)置0.45m/s勻速氣流屏障。通過(guò)CFD模擬優(yōu)化送風(fēng)面布局,使≥0.5μm顆粒物濃度始終≤3520個(gè)/m3。電芯注液工序采用隔離操作箱,內(nèi)置氮?dú)獗Wo(hù)系統(tǒng),將氧含量控制在10ppm以下,防止電解液氧化。針對(duì)光刻工序?qū)諝夥肿游廴疚铮ˋMC)的嚴(yán)苛要求,配置化學(xué)過(guò)濾機(jī)組,對(duì)硼、磷、硫等氣態(tài)雜質(zhì)去除效率達(dá)99.999%。采用VOC在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng),實(shí)時(shí)檢測(cè)NH3、SO2等關(guān)鍵指標(biāo),結(jié)合FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的三級(jí)過(guò)濾體系,確保ISO1級(jí)潔凈環(huán)境。防靜電與防爆設(shè)計(jì),保障電子與新能源生產(chǎn)安全。中國(guó)臺(tái)灣制藥C級(jí)無(wú)塵車間廠家
半導(dǎo)體黃光區(qū)無(wú)塵車間,紫外光泄漏量≤1μW/cm2,保護(hù)光刻膠。福建彩鋼板無(wú)塵車間咨詢
在現(xiàn)代工業(yè)的重要地帶,無(wú)塵車間如同一個(gè)個(gè)與凡塵隔絕的精密堡壘,以其不可思議的潔凈度,成為無(wú)數(shù)先進(jìn)技術(shù)誕生的搖籃。它絕非是簡(jiǎn)單的“干凈房間”,而是通過(guò)精密復(fù)雜的工程系統(tǒng)對(duì)空氣進(jìn)行近乎苛刻的控制。在這里,空氣的每一絲流動(dòng)都被精心設(shè)計(jì),從經(jīng)過(guò)多重過(guò)濾的新風(fēng)送入,到受控氣流的持續(xù)置換(通常采用層流方式),塵埃粒子被高效過(guò)濾器(HEPA或ULPA)層層捕獲、排除,直至達(dá)到預(yù)定的嚴(yán)苛等級(jí)——如ISO 1級(jí)意味著每立方米空氣中大于0.1微米的粒子不得超過(guò)10個(gè)。溫度、濕度、氣壓差亦被穩(wěn)定在極窄的波動(dòng)區(qū)間內(nèi),為那些對(duì)微觀環(huán)境變化極其敏感的制造或研究活動(dòng),筑起一道無(wú)形的純凈屏障,確保每一次操作都在理想的“潔凈”中展開(kāi)。福建彩鋼板無(wú)塵車間咨詢