在決定國家科技命脈的半導(dǎo)體晶圓廠內(nèi),無塵車間的重要性被提升至無以復(fù)加的高度。想象一下,當(dāng)工程師們?cè)诠杵衔g刻比發(fā)絲細(xì)千倍的電路時(shí),一粒微不足道的塵埃落于其上,便足以摧毀整片價(jià)值高昂的晶圓,讓數(shù)周的精密努力化為泡影。因此,高標(biāo)準(zhǔn)芯片工廠(如制造3納米、5納米制程芯片)通常要求達(dá)到ISO 1級(jí)或2級(jí)的潔凈度——這意味著一立方米空氣中大于0.1微米的粒子甚至不能超過十個(gè)。為實(shí)現(xiàn)此近乎苛刻的標(biāo)準(zhǔn),車間采用造價(jià)高昂的垂直單向?qū)恿飨到y(tǒng),空氣如瀑布般均勻穩(wěn)定地從天花板高效過濾器(ULPA級(jí)別)傾瀉而下,再經(jīng)由高架地板被抽走,形成持續(xù)“沖洗”效應(yīng)。工程師們身著包裹全身、特殊材質(zhì)制成的“兔寶寶”服,經(jīng)過多重氣閘室嚴(yán)格除塵,方能在靜默的微光環(huán)境中,操縱價(jià)值數(shù)千萬美元的曝光機(jī)臺(tái)。在這里,空氣的純凈度直接關(guān)聯(lián)著芯片的良品率與性能極限,一絲塵埃即可能導(dǎo)致價(jià)值數(shù)千萬美元的損失,無塵車間因此成為高標(biāo)準(zhǔn)芯片得以穩(wěn)定誕生的前提。模塊化潔凈棚,快速搭建,靈活適配不同生產(chǎn)需求。中國香港萬級(jí)無塵車間報(bào)價(jià)
千級(jí)無塵車間換氣次數(shù)有明確標(biāo)準(zhǔn)。GB 550072 - 2001規(guī)定是50 - 60次/s,ISO 14644 - 4規(guī)定的是25 - 56次/s。合理的換氣次數(shù)能夠保證車間內(nèi)空氣的新鮮度和潔凈度,及時(shí)排除污染物,為生產(chǎn)提供良好的空氣環(huán)境。千級(jí)無塵車間新風(fēng)量和送風(fēng)量標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)車間內(nèi)人員數(shù)量確定。如果車間內(nèi)人員比較多就取最大值。非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10 - 30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3/h。充足的新風(fēng)量和送風(fēng)量能夠維持車間內(nèi)空氣質(zhì)量,保障人員健康和生產(chǎn)安全。福建醫(yī)療器械無塵車間廠房改造醫(yī)藥無菌制劑無塵車間,浮游菌≤1CFU/m3,確保產(chǎn)品無菌性。
無塵車間,又稱凈化車間、潔凈室,是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)的溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),給予特別設(shè)計(jì)的房間。其原理是通過初效、中效、高效等多級(jí)空氣過濾系統(tǒng),將室外空氣凈化后送入室內(nèi),同時(shí)室內(nèi)產(chǎn)生的污染空氣通過回風(fēng)系統(tǒng)排出,經(jīng)過處理后再次循環(huán)使用,不斷稀釋室內(nèi)污染物,從而維持車間內(nèi)的潔凈環(huán)境。例如,在電子芯片制造車間,微小塵??赡軐?dǎo)致芯片短路,無塵車間通過這種原理確保芯片生產(chǎn)環(huán)境的潔凈。
光學(xué)儀器和航空航天部件的制造需要極高的精度和可靠性,無塵車間可以減少灰塵和顆粒物的存在,保證光學(xué)產(chǎn)品的清晰度和精度。在光學(xué)制造領(lǐng)域,無塵車間是保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵因素。無塵車間確保了航空航天零部件的制造過程中不受污染,提高了產(chǎn)品的整體質(zhì)量和安全性。航空航天產(chǎn)品的制造對(duì)環(huán)境要求極為嚴(yán)格,無塵車間為零部件制造提供了潔凈、穩(wěn)定的環(huán)境,保障了航空航天事業(yè)的發(fā)展。無塵車間在科研實(shí)驗(yàn)室中的應(yīng)用,可以減少實(shí)驗(yàn)過程中的污染和誤差,提高實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。無論是生物學(xué)、化學(xué)、物理學(xué)還是材料科學(xué)等領(lǐng)域的研究,都需要在潔凈、無塵的環(huán)境中進(jìn)行。無塵車間為科學(xué)研究提供了良好的實(shí)驗(yàn)環(huán)境,推動(dòng)了科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步。光學(xué)纖維對(duì)接在無塵車間進(jìn)行,插入損耗≤0.2dB,信號(hào)傳輸穩(wěn)定。
采用垂直單向流與水平單向流混合送風(fēng)模式,在電芯堆疊區(qū)設(shè)置0.45m/s勻速氣流屏障。通過CFD模擬優(yōu)化送風(fēng)面布局,使≥0.5μm顆粒物濃度始終≤3520個(gè)/m3。電芯注液工序采用隔離操作箱,內(nèi)置氮?dú)獗Wo(hù)系統(tǒng),將氧含量控制在10ppm以下,防止電解液氧化。針對(duì)光刻工序?qū)諝夥肿游廴疚铮ˋMC)的嚴(yán)苛要求,配置化學(xué)過濾機(jī)組,對(duì)硼、磷、硫等氣態(tài)雜質(zhì)去除效率達(dá)99.999%。采用VOC在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng),實(shí)時(shí)檢測(cè)NH3、SO2等關(guān)鍵指標(biāo),結(jié)合FFU風(fēng)機(jī)過濾單元的三級(jí)過濾體系,確保ISO1級(jí)潔凈環(huán)境。無塵車間采用防爆設(shè)計(jì),配備七氟丙烷滅火系統(tǒng),確保鋰離子電池生產(chǎn)安全。重慶彩鋼板無塵車間廠房裝修
光學(xué)器件老化無塵車間,溫濕度循環(huán)測(cè)試,壽命預(yù)測(cè)誤差≤5%。中國香港萬級(jí)無塵車間報(bào)價(jià)
施工前,需根據(jù)工廠要求和實(shí)際需求,精確規(guī)劃和設(shè)計(jì)無塵車間的大小、布局、設(shè)備等,形成詳細(xì)的施工圖紙。準(zhǔn)備必要的施工材料,如符合標(biāo)準(zhǔn)的彩鋼板、空氣過濾器、凈化空調(diào)設(shè)備等,并確保材料質(zhì)量合格。同時(shí),準(zhǔn)備好各類施工工具和設(shè)備,如電焊機(jī)、起重機(jī)等。對(duì)施工現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行多方位清理,拆除影響施工的障礙物,確保場(chǎng)地平整、干凈。還要對(duì)施工人員進(jìn)行技術(shù)交底和安全培訓(xùn),使其熟悉施工流程、質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)和安全注意事項(xiàng)。例如,在進(jìn)入無塵車間施工區(qū)域前,施工人員需穿戴好相應(yīng)的防護(hù)用品,避免帶入灰塵等污染物。中國香港萬級(jí)無塵車間報(bào)價(jià)