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上海水性光刻膠報價

來源： 發布時間：2025-06-05

主要應用場景

 印刷電路板（PCB）：

? 通孔/線路加工：負性膠厚度可達20-50μm，耐堿性蝕刻液（如氯化鐵、堿性氯化銅），適合制作大尺寸線路（線寬/線距≥50μm），如雙面板、多層板的外層電路。

? 阻焊層：作為絕緣保護層，覆蓋非焊盤區域，需厚膠（50-100μm）和高耐焊接溫度（260℃以上），負性膠因工藝簡單、成本低而廣泛應用。

 微機電系統（MEMS）：

? 深硅蝕刻（DRIE）：負性膠作為蝕刻掩膜，厚度可達100μm以上，耐SF?等強腐蝕性氣體，用于制作加速度計、陀螺儀的高深寬比結構（深寬比＞20:1）。

? 模具制造：在硅或玻璃基板上制作微流控芯片的通道模具，利用負性膠的厚膠成型能力。

 平板顯示（LCD）：

? 彩色濾光片（CF）基板預處理：在玻璃基板上制作絕緣層或緩沖層，耐濕法蝕刻（如HF溶液），確保后續RGB色阻層的精確涂布。

 功率半導體與分立器件：

? IGBT、MOSFET的隔離區蝕刻：負性膠用于制作較寬的隔離溝槽（寬度＞10μm），耐高濃度酸堿蝕刻，降低工藝成本。
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納米壓印光刻膠


  • 微納光學器件制造：制作衍射光學元件、微透鏡陣列等微納光學器件時，納米壓印光刻膠可實現高精度的微納結構復制。通過納米壓印技術，將模板上的微納圖案轉移到光刻膠上，再經過后續處理，可制造出具有特定光學性能的微納光學器件，應用于光通信、光學成像等領域。
  • 生物芯片制造：在 DNA 芯片、蛋白質芯片等生物芯片的制造中，需要在芯片表面構建高精度的微納結構，用于生物分子的固定和檢測。納米壓印光刻膠可幫助實現這些精細結構的制作，提高生物芯片的檢測靈敏度和準確性。


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    關鍵工藝流程

     涂布與前烘：

    ? 旋涂或噴涂負性膠，厚度可達1-100μm（遠厚于正性膠），前烘溫度60-90℃，去除溶劑并增強附著力。

     曝光：

    ? 光源以**汞燈G線（436nm）**為主，適用于≥1μm線寬，曝光能量較高（約200-500mJ/cm2），需注意掩膜版與膠膜的貼合精度。

     顯影：

    ? 使用有機溶劑顯影液（如二甲苯、醋酸丁酯），未曝光的未交聯膠膜溶解，曝光的交聯膠膜保留。

     后處理：

    ? 后烘（Post-Bake）：加熱（100-150℃）進一步固化交聯結構，提升耐干法蝕刻或濕法腐蝕的能力。

     晶圓制造（前道工藝）
    ? 功能：在硅片表面形成高精度電路圖形，是光刻工藝的主要材料。

    ? 細分場景：

    ? 邏輯/存儲芯片：用于28nm及以上成熟制程的KrF光刻膠（分辨率0.25-1μm）、14nm以下先進制程的ArF浸沒式光刻膠（分辨率≤45nm），以及極紫外（EUV）光刻膠（目標7nm以下，研發中）。

    ? 功率半導體（如IGBT）：使用厚膜光刻膠（膜厚5-50μm），滿足深溝槽刻蝕需求。

    ? MEMS傳感器：通過高深寬比光刻膠（如SU-8）實現微米級結構（如加速度計、陀螺儀的懸臂梁）。

     芯片封裝（后道工藝）

    ? 先進封裝技術：

    ? Flip Chip（倒裝芯片）：用光刻膠形成凸點（Bump）下的 Redistribution Layer（RDL），線寬精度要求≤10μm。

    ? 2.5D/3D封裝：在硅通孔（TSV）工藝中，光刻膠用于定義通孔開口（直徑5-50μm）。

    正性光刻膠生產原料。

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    吉田半導體 YK-300 正性光刻膠：半導體芯片制造的材料

    YK-300 正性光刻膠以高分辨率與耐蝕刻性，成為 45nm 及以上制程的理想選擇。
    YK-300 正性光刻膠分辨率達 0.35μm，線寬粗糙度（LWR）≤3nm，適用于半導體芯片前道工藝。其耐溶劑性與絕緣阻抗性能突出，在顯影與蝕刻過程中保持圖形穩定性。產品已通過中芯國際量產驗證，良率達 98% 以上，生產過程執行 ISO9001 標準，幫助客戶降低封裝成本 20% 以上。支持小批量試產與定制化需求，為國產芯片制造提供穩定材料支撐。
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    LCD 正性光刻膠（YK-200）應用場景：LCD 面板的電極圖案化（如 TFT-LCD 的柵極、源漏極）、彩色濾光片制造。特點：高感光度與均勻涂布性，確保顯示面板的高對比度和色彩還原度。
    厚膜光刻膠（JT-3001）應用場景：Mini LED/Micro LED 顯示基板的巨量轉移技術，以及 OLED 面板的封裝工藝。特點：膜厚可控（可達數十微米），滿足高密度像素陣列的精細加工需求。
    PCB 光刻膠（如 SU-3 負性光刻膠）應用場景：高多層 PCB、HDI（高密度互連）板的線路成像，以及 IC 載板的精細線路制作。特點：抗電鍍性能優異，支持細至 50μm 以下的線寬 / 線距，適應 5G 通信、服務器等 PCB 需求。 上海水性光刻膠報價

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