晶圓甩干機專為半導體制造打造干燥晶圓。它運用離心力原理，當晶圓放置在甩干機的旋轉平臺上高速旋轉時，表面液體在離心力作用下被甩出。甩干機結構設計注重細節，旋轉平臺平整度高，與晶圓接觸良好且不會損傷晶圓。驅動電機動力強勁，調速精 zhun ，能根據不同工藝要求調整轉速。控制系統智能化程度高，可方便地設定甩干時間、轉速等參數，并實時顯示設備運行狀態。在半導體制造流程中，清洗后的晶圓經甩干機處理，去除殘留液體，防止液體殘留對后續光刻、蝕刻等工藝造成干擾，如影響光刻圖案的轉移精度，為制造高質量芯片提供干燥的晶圓。雙腔甩干機低耗水量設計，只需少量清水即可完成漂脫流程。上海SIC甩干機公司

甩干機工作原理一、離心力作用原理晶圓甩干機的he心工作原理是離心力。當設備的轉子高速旋轉時，放置在轉子內的晶圓隨之做圓周運動。根據離心力公式2（其中為離心力，是液體質量，是角速度，是旋轉半徑），液體在強大離心力的作用下，克服與晶圓表面的附著力以及自身的表面張力，沿著轉子壁的切線方向被甩出。為了產生足夠的離心力，電機驅動轉子以較高的轉速旋轉。不同型號的晶圓甩干機轉速不同，但一般都能達到數千轉每分鐘甚至更高，以確保有效去除晶圓表面的各種液體。二、輔助干燥機制除了離心力甩干，許多晶圓甩干機還配備了通風系統。在甩干過程中，清潔、干燥的空氣被引入轉子內部。一方面，氣流可以幫助帶走被離心力甩出的液體；另一方面，氣流在晶圓表面流動，加速液體的蒸發。對于一些揮發性較低的液體殘留，通風系統的作用尤為重要。部分先進的晶圓甩干機還會采用加熱或超聲等輔助技術。加熱可以提高液體的溫度，加快其蒸發速度；超聲技術則通過高頻振動破壞液體的表面張力，使液體更容易從晶圓表面脫離，進一步增強干燥效果。河北芯片甩干機批發雙腔甩干機高速旋轉時保持穩定，避免因不平衡導致的停機。

晶圓甩干機是半導體制造的關鍵設備，基于離心力實現晶圓干燥。電機驅動旋轉部件高速運轉，使附著在晶圓表面的液體在離心力作用下脫離晶圓。從結構上看，它的旋轉軸要求極高精度，減少振動對晶圓損傷；旋轉盤與晶圓接觸，表面處理避免刮傷晶圓。驅動電機動力強勁且調速精 zhun ，控制系統能讓操作人員便捷設置參數。在半導體制造中，清洗后的晶圓經甩干機處理，去除殘留的清洗液，防止液體殘留導致的雜質污染、氧化等問題，保證后續工藝順利，對提高芯片質量起著重要作用。

晶圓甩干機是專為半導體制造設計的專業干燥設備。基于離心力原理，當晶圓被放入甩干機并高速旋轉時，表面液體在離心力作用下被甩出，實現快速干燥。該設備結構緊湊且功能強大，旋轉平臺具備高精度和高平整度，確保晶圓在旋轉過程中保持穩定。驅動電機動力強勁，調速范圍廣，能滿足不同工藝對轉速的要求。控制系統智能化程度高，可實時監控甩干過程，并對參數進行調整。在半導體制造流程中，清洗后的晶圓經甩干機處理，去除殘留液體，避免因液體殘留導致的氧化、雜質沉積等問題，為后續光刻、蝕刻等工藝提供干燥、潔凈的晶圓，保障半導體制造工藝的順利進行。多模式適配：預設多種甩干程序（如輕柔、標準、強力），適配不同材質物料。

晶圓甩干機常見故障及解決方法

一、甩干機轉速不穩定故障原因：可能是電機故障、傳動皮帶松動或控制系統出現問題。解決方法：檢查電機是否有異常發熱、噪音等情況，如有則需維修或更換電機；調整傳動皮帶的松緊度，若皮帶磨損嚴重應及時更換；檢查控制系統的參數設置，如有必要，重新校準或升級控制程序。

二、甩干后晶圓表面有殘留液體故障原因：可能是甩干時間不足、轉速不夠、晶圓放置不平衡或設備腔體密封性不好。解決方法：適當延長甩干時間或提高轉速；重新放置晶圓，確保其在甩干桶中處于平衡狀態；檢查設備腔體的密封膠條，如有老化、損壞，及時更換。

三、設備運行時出現異常噪音故障原因：可能是機械部件磨損、松動，或者有異物進入設備內部。解決方法：停機檢查各個機械部件，如軸承、甩干轉子等，對磨損嚴重的部件進行更換，對松動的部件進行緊固；清理設備內部的異物。 靜音設計的雙腔甩干機運行平穩，減少對生活環境的干擾。河北芯片甩干機批發

雙腔甩干機透明觀察窗便于隨時查看脫水狀態，無需中途停機。上海SIC甩干機公司

在國際上，一些發達國家如美國、日本等在立式甩干機的研發和制造領域具有 lead 優勢。這些國家的 zhi ming企業擁有先進的技術和豐富的經驗，其生產的甩干機在gao duan 芯片制造生產線中占據著較大的市場份額。例如，美國的某些企業生產的甩干機在轉速控制精度、干燥效果和自動化程度等方面處于世界 ling xian 水平，能夠滿足前沿的芯片制造工藝（如 5nm 及以下制程）的苛刻要求；日本的企業則在設備的可靠性、穩定性和精細制造工藝方面表現出色，其產品在全球半導體制造行業中享有很高的聲譽。這些國際 gao duan  企業不斷投入大量的研發資源，致力于新技術、新材料的應用和新功能的開發，以保持其在市場競爭中的優勢地位。上海SIC甩干機公司