賽瑞達(dá)智能電子裝備（無(wú)錫）有限公司2025-03-07

立式爐的垂直結(jié)構(gòu)使其在空間利用上更高效，占地面積相對(duì)較小，特別適合在寸土寸金的半導(dǎo)體制造車(chē)間使用。在工藝方面，立式爐內(nèi)的氣流分布更均勻穩(wěn)定，能更好地保證半導(dǎo)體材料在加熱過(guò)程中各處反應(yīng)條件一致，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量的一致性和穩(wěn)定性。而且，其裝片方式通常為垂直裝載，可減少芯片在裝載過(guò)程中的損傷風(fēng)險(xiǎn)，這對(duì)于精密的半導(dǎo)體芯片來(lái)說(shuō)至關(guān)重要。?

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