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LPCVD 在半導體制造中有哪些重要作用??

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賽瑞達智能電子裝備(無錫)有限公司2025-04-19

在半導體產業里,LPCVD 用途范圍廣。比如沉積多晶硅,這可是制造晶體管、集成電路(IC)的關鍵材料;還有氮化硅,常作為介電材料,用于隔離層、保護層和絕緣層;氧化硅可用于柵介質、電容器、隔離層等;金屬薄膜(像鎢、銅)則用于電路連接。這些薄膜在半導體器件的性能和功能實現上起著不可或缺的作用。

賽瑞達智能電子裝備(無錫)有限公司
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簡介:賽瑞達成立于2021年,專注于半導體設備的研發、生產與銷售。公司位于無錫,致力于提供定制化解決方案。
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賽瑞達致力于成為半導體裝備的主導品牌。
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