添加劑為二乙二醇單甲醚、三乙二醇乙醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分別為％、％、％。實施例6本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、月桂酰氨乙基硫酸鈉，添加量分別為總質(zhì)量的％、％、％。對照例對照例中所含成分顯示于表1，并采用與實施例相同的方法進行處理。對照例1為純磷酸，總質(zhì)量為400g。對照例2為磷酸、丙二醇丁醚，其中丙二醇丁醚的添加量為總質(zhì)量的％。對照例3為磷酸、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，其中脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p的添加量為總質(zhì)量的％。結(jié)果如表2所示，與對照例蝕刻液相比，實施例蝕刻液有更低的表面張力和接觸角，并且氮化硅層蝕刻后顯示出良好的均勻性。表1表2顯然，上述實施例和對照例是為了清楚地說明所作的實例，而并非對實施方式的限制。對于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動，這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而因此所引申的顯而易見的變化或變動仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護范圍之內(nèi)。專業(yè)BOE蝕刻液由蘇州博洋化學(xué)股份有限公司提供。浙江電子級BOE蝕刻液銷售公司

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    conunanormaeuropeaENoconunarecomendaciónCEIparaalgunosdelosmodosdeprotecciónsiguientes:1.oInmersiónenaceite?o?.2.oSobrepresióninterna?p?.3.oRellenopulverulento?q?.4.oEnvolventeantideflagrante?d?.5.oSeguridadaumentada?e?.6.oSeguridadintrínseca?i?.7.oEncapsulado?m?.orespaldadosporcertificadosdecontrolparaotrosmodosdeprotecciónaúnnonormalizadosenEspa?a,comoporejemplo:aparatosparazona2,tipo?n?,yaparatoseléctricosconmodosdeproteccióóódigodemarcadoserá?s?.Esmuyimportantetenerencuentaqueauncuandoatítuloindividualcualquiermaterialeléctricodispongadeloscertificadoscorrespondientes,perovayanposteriormentemontadosyformandopartedeunconjuntooequipoconcreto,dichoscertificadosnoseránválidos;anoserqueseinstalendeacuerdoconlasnormas,criterios,prescripcionesyrecomendacionesexigidasparaeláreadeinstalacióáuncertificadoglobalparacadaaparato,dondeseincluyenloscertificadosdeconformidaddecadaunodeloscomponenteseléctricos。如何挑選一款適合公司的BOE蝕刻液？

    然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱，待加熱到確定溫度后，放入氮化硅樣片進行蝕刻；蝕刻完后，取出樣片采用熱超純水清洗和氮氣吹干后，使用橢圓偏振光譜儀對蝕刻前所取位置的6個點的厚度進行測量，計算蝕刻前后6個取點的厚度差值，對比6個點之間的厚度差值的差異。與現(xiàn)有的使用磷酸作為蝕刻液相比，本發(fā)明的有益效果是：醇醚類和表面活性劑的添加能明顯改善磷酸溶液的浸潤性和降低磷酸溶液的表面張力，有效提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕性和蝕刻均勻性。具體實施方式下面結(jié)合具體實施例，進一步闡述本發(fā)明，對本發(fā)明做進一步詳細的說明，但不限于這些實施例。本發(fā)明的蝕刻液配制時選擇的磷酸濃度為85％，蝕刻溫度為160℃，蝕刻時間為10min。先對所配制蝕刻液的表面張力進行檢測，然后將氮化硅樣片使用超純水清洗和氮氣吹干后，進行接觸角的測量；蝕刻前使用超純水清洗和氮氣吹干氮化硅樣片后，在氮化硅樣片上取6個不同位置的點對其厚度進行測量；蝕刻完成后使用熱超純水清洗和氮氣吹干氮化硅樣片后，取與蝕刻前相同位置的6個點進行厚度測量。實施例1本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中。博洋化學(xué)BOE蝕刻液的專業(yè)供應(yīng)商。上海什么是BOE蝕刻液電話

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