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半導(dǎo)體鎖相紅外熱成像系統(tǒng)工作原理

來源: 發(fā)布時間:2025-07-30

電激勵的鎖相熱成像系統(tǒng)在電子產(chǎn)業(yè)的柔性電子檢測中展現(xiàn)出廣闊的應(yīng)用前景,為柔性電子技術(shù)的發(fā)展提供了關(guān)鍵的質(zhì)量控制手段。柔性電子具有可彎曲、重量輕、便攜性好等優(yōu)點,廣泛應(yīng)用于柔性顯示屏、柔性傳感器、可穿戴設(shè)備等領(lǐng)域。然而,柔性電子材料通常較薄且易變形,傳統(tǒng)的機(jī)械檢測或接觸式檢測方法容易對其造成損傷。電激勵方式在柔性電子檢測中具有獨特優(yōu)勢,可采用低電流的周期性激勵,避免對柔性材料造成破壞。鎖相熱成像系統(tǒng)能夠通過檢測柔性電子內(nèi)部線路的溫度變化,識別出線路斷裂、層間剝離、電極脫落等缺陷。例如,在柔性顯示屏的檢測中,系統(tǒng)可以對顯示屏施加低電流電激勵,通過分析溫度場分布,發(fā)現(xiàn)隱藏在柔性基底中的細(xì)微線路缺陷,確保顯示屏的顯示效果和使用壽命。這一技術(shù)的應(yīng)用,有效保障了柔性電子產(chǎn)品的質(zhì)量,推動了電子產(chǎn)業(yè)中柔性電子技術(shù)的快速發(fā)展。本系統(tǒng)對鎖相處理后的振幅和相位數(shù)據(jù)進(jìn)行分析,生成振幅熱圖和相位熱圖,并通過算法定位異常區(qū)域。半導(dǎo)體鎖相紅外熱成像系統(tǒng)工作原理

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鎖相熱成像系統(tǒng)的維護(hù)保養(yǎng)是保證其長期穩(wěn)定運行的關(guān)鍵。系統(tǒng)的維護(hù)包括日常的清潔、部件的檢查和更換等。對于紅外熱像儀的鏡頭,需要定期用專門的清潔劑和鏡頭紙進(jìn)行清潔,避免灰塵和污漬影響成像質(zhì)量。鎖相放大器、激光器等關(guān)鍵部件要定期進(jìn)行性能檢查,確保其參數(shù)在正常范圍內(nèi)。如果發(fā)現(xiàn)部件出現(xiàn)老化或故障,要及時進(jìn)行更換,以避免影響系統(tǒng)的檢測精度。此外,系統(tǒng)的冷卻系統(tǒng)也需要定期維護(hù),確保其能夠正常工作,防止因設(shè)備過熱而影響性能。做好維護(hù)保養(yǎng)工作,能夠延長鎖相熱成像系統(tǒng)的使用壽命,降低設(shè)備故障的發(fā)生率,保證檢測工作的順利進(jìn)行。什么是鎖相紅外熱成像系統(tǒng)測試三維可視化通過相位信息實現(xiàn)微米級深度定位功能,能夠無盲區(qū)再現(xiàn)被測物內(nèi)部構(gòu)造。

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這款一體化設(shè)備的核心競爭力,在于打破了兩種技術(shù)的應(yīng)用邊界。熱紅外顯微鏡擅長微觀尺度的熱分布成像,能通過高倍率光學(xué)系統(tǒng)捕捉芯片表面微米級的溫度差異;鎖相紅外熱成像系統(tǒng)則依托鎖相技術(shù),可從環(huán)境噪聲中提取微弱的周期性熱信號,實現(xiàn)納米級缺陷的精細(xì)定位。致晟光電通過硬件集成與算法優(yōu)化,讓兩者形成 “1+1>2” 的協(xié)同效應(yīng) —— 既保留熱紅外顯微鏡的微觀觀測能力,又賦予其鎖相技術(shù)的微弱信號檢測優(yōu)勢,無需在兩種設(shè)備間切換即可完成從宏觀掃描到微觀定位的全流程分析。

鎖相熱成像系統(tǒng)與電激勵結(jié)合,為電子產(chǎn)業(yè)的芯片失效分析提供了一種全新的方法,幫助企業(yè)快速定位失效原因,改進(jìn)生產(chǎn)工藝。芯片失效的原因復(fù)雜多樣,可能是設(shè)計缺陷、材料問題、制造過程中的污染,也可能是使用過程中的靜電損傷、熱疲勞等。傳統(tǒng)的失效分析方法如切片分析、探針測試等,不僅操作復(fù)雜、耗時較長,而且可能會破壞失效芯片的原始狀態(tài),難以準(zhǔn)確找到失效根源。通過對失效芯片施加特定的電激勵,模擬其失效前的工作狀態(tài),鎖相熱成像系統(tǒng)能夠記錄芯片表面的溫度變化過程,并將其與正常芯片的溫度數(shù)據(jù)進(jìn)行對比分析,從而找出失效位置和失效原因。例如,當(dāng)芯片因靜電損傷而失效時,系統(tǒng)會檢測到芯片的輸入端存在異常的高溫區(qū)域;當(dāng)芯片因熱疲勞失效時,會在芯片的焊接點處發(fā)現(xiàn)溫度分布不均的現(xiàn)象。基于這些分析結(jié)果,企業(yè)可以有針對性地改進(jìn)生產(chǎn)工藝,減少類似失效問題的發(fā)生。電激勵的脈沖寬度與鎖相熱成像系統(tǒng)采樣頻率需匹配,通過參數(shù)優(yōu)化可大幅提高檢測信號的信噪比和清晰度。

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在實際應(yīng)用中,這款設(shè)備已成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的 “故障診斷利器”。在晶圓制造環(huán)節(jié),它能通過熱分布成像識別光刻缺陷導(dǎo)致的局部漏電;在芯片封裝階段,可定位引線鍵合不良引發(fā)的接觸電阻過熱;針對 IGBT 等功率器件,能捕捉高頻開關(guān)下的瞬態(tài)熱行為,提前預(yù)警潛在失效風(fēng)險。某半導(dǎo)體企業(yè)在檢測一批失效芯片時,傳統(tǒng)熱成像設(shè)備能看到模糊的發(fā)熱區(qū)域,而使用致晟光電的一體化設(shè)備后,通過鎖相技術(shù)發(fā)現(xiàn)發(fā)熱區(qū)域內(nèi)存在一個 2μm 的微小熱點,終定位為芯片內(nèi)部的金屬離子遷移缺陷 —— 這類缺陷若未及時發(fā)現(xiàn),可能導(dǎo)致產(chǎn)品在長期使用中突然失效。鎖相熱成像系統(tǒng)縮短電激勵檢測的響應(yīng)時間。thermal鎖相紅外熱成像系統(tǒng)訂制價格

電激勵模式多樣,適配鎖相熱成像系統(tǒng)不同需求。半導(dǎo)體鎖相紅外熱成像系統(tǒng)工作原理

當(dāng)電子設(shè)備中的某個元件發(fā)生故障或異常時,常常伴隨局部溫度升高。熱紅外顯微鏡通過高靈敏度的紅外探測器,能夠捕捉到極其微弱的熱輻射信號。這些探測器通常采用量子級聯(lián)激光器等先進(jìn)技術(shù),或其他高性能紅外傳感方案,具備寬溫區(qū)、高分辨率的成像能力。通過對熱輻射信號的精細(xì)探測與分析,熱紅外顯微鏡能夠?qū)㈦娮釉O(shè)備表面的溫度分布以高對比度的熱圖像形式呈現(xiàn),直觀展現(xiàn)熱點區(qū)域的位置、尺寸及溫度變化趨勢,從而幫助工程師快速鎖定潛在的故障點,實現(xiàn)高效可靠的故障排查。半導(dǎo)體鎖相紅外熱成像系統(tǒng)工作原理

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