平臺面板具有優良的潔凈性能,上、下面板均采用防銹的磁性不銹鋼,上面板與蜂窩芯粘接前后都進行嚴格的潔凈清洗流程,保證面板螺孔和U型清潔艙無油污、碎屑殘留,U型清潔艙能有效防止蜂窩芯板腐蝕,U型通道將相鄰兩個螺孔連通,便于制造時用高壓氣流和工作時用吸塵器清潔掉落在...
探針臺由哪些部分組成?樣品臺(載物臺):是定位晶圓或芯片的部件設備。通常會根據晶圓的尺寸來設計大小,并配套了相應的精密移動定位功能。光學元件:這個部件的作用使得用戶能夠從視覺上放大觀察待測物,以便精確地將探針尖銳端對準并放置在待測晶圓/芯片的測量點上。有的采用...
在精密光學平臺上對反射光的處理要在光路中檢測對象的反射角度,檢測不同光波波段光路中的反射率,用電學透鏡圖片來處理多光線路徑的不同光路,建立角度矩陣、波長矩陣、光源矩陣等,確定光路系統中不同光路的光學模型。雖然利用光路光學儀器可以對光路進行單個或組合的光路模擬,...
手動探針臺規格描述(以實驗室常見的儀準ADVANCED八寸,六寸探針臺為例):探針臺載物臺平整度:5μm探針臺右側標配顯微鏡升降機構,可抬高顯微鏡,便于更換鏡頭和換待測物探針臺左側標配升降器,可快速升降臺面8mm,并具備鎖定功能探針臺右下方標配精調旋轉輪,可微...
氣浮光學平臺的功能有哪些?它主要根據太陽或地球上大氣分子在地表受到太陽輻射時太陽光或地面通過大氣光學反射折射到人眼后,在固定時間段太陽出現在前面三十幾分鐘就光臨地球的大氣光學性質,設計制作出大氣光學氣浮系統。可根據太陽或地球上大氣分子產生大氣層厚度等條件,設計...
振動恢復時間是某一點上開始振動到恢復到初始狀態所需要的很短時間。若要縮短光學平臺的振動恢復時間,通常有兩個辦法:增大彈簧的彈性系數k。對于阻尼隔振平臺,可以換用材質較硬的阻尼材料;對于充氣平臺,可以適度增加空氣壓力;控制光學平臺臺面的質量。在不影響剛度的前提下...
晶圓探針器是用于測試集成電路的機器(自動測試設備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當的位置,同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態。當一個管芯(或管芯陣列)經過電氣測試后,探針臺將晶片移動到下一個管芯(或管芯),下一個測試就可...
晶圓測試是在半導體器件制造過程中執行的一個步驟。在此步驟中,在將晶圓送至芯片準備之前執行,晶圓上存在的所有單個集成電路都通過對其應用特殊測試模式來測試功能缺陷。晶圓測試由稱為晶圓探針器的測試設備執行。晶圓測試過程可以通過多種方式進行引用:晶圓終端測試(WFT)...
密封平臺顯微鏡設備用戶應采取接觸固定的方法并予以充分的保護,要確保加工面與玻璃的接觸面積大于5mm,而不應是所有光學平臺顯微鏡本身就不能再進行其他的玻璃保護處理。用戶一方面要保護好產品,一方面要保證安全拿人開刀才是很危險的事小尺寸全硬板狀的平板顯微鏡工作時應該...
探針臺大家不陌生了,是我們半導體實驗室電性能測試的常用設備,也是各大實驗室的熟客。優點太多了,成本低,用途廣,操作方便,對環境要求也不高,即使沒有超凈間,普通的壞境也可以配置,測試結果穩定,客觀。深受工程師們的青睞。手動探針臺用途:探針臺主要應用于半導體行業、...
光學平臺的平面度在使用時,實際意義不大。我們以完全平整的臺面(實際上是不可能的)來看,若長×寬×厚為:2000×1000×200mm,通常調整水平時,水平儀的小刻度為±30′,若假設實際過程中,水平方向調整精度若為5′,長度方向取2000mm,那么,臺面長度方...
光學平臺測量方法:使用脈沖錘對平臺或面包板的表面施加一個已測量的外力,并將一個傳感器貼合在平臺或面包板表面對合成振動進行測量。探測器發出的信號通過分析儀進行讀取,并用于產生頻率響應譜(即柔量曲線)。在光學平臺的研發過程中,對平臺表面上很多點的柔量曲線進行記錄;...
探針臺是檢測芯片的重要設備,在芯片的設計驗證階段,主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術指標,在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查,只有通過設計驗證的產品型號才會量產。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或專門的測試代工廠進行,主要用到的設備為測試機和探針臺。...
以往如果需要測試電子元器件或系統的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態,測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件...
固有頻率,顧名思義,為系統本身發生的振動的頻率。數值上來看,固有頻率等于共振頻率。考慮物塊與彈性懸臂梁組成的系統,固有頻率取決于兩個因素——物塊質量,以及充當彈簧的彈性懸臂梁的彈性系數。質量減小或彈性系數減小可增大固有頻率;質量增大或懸臂梁彈性系數增大可降低固...
晶圓探針器是用于測試集成電路的機器(自動測試設備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當的位置,同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態。當一個管芯(或管芯陣列)經過電氣測試后,探針臺將晶片移動到下一個管芯(或管芯),下一個測試就可...
探針臺可吸附多種規格芯片,并提供多個可調測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對芯片進行科研分析,抽查測試等用途。探針臺是一種輔助執行機構,測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,...
x-y工作臺的維護與保養:無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很中心的部分。有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的,所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。現在...
有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的,所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。現在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養作一介紹。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養:平面電機由定...
探針臺由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。而定子在加工過程中生產廠家根據不同的設計要求如分辨力等,用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機的齒距,而定子則按不同的細分控制方式,按編制好的運行程序借助于平面定子和...
晶圓探針器是用于測試集成電路的機器(自動測試設備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當的位置,同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態。當一個管芯(或管芯陣列)經過電氣測試后,探針臺將晶片移動到下一個管芯(或管芯),下一個測試就可...
高性能密閉微暗室有效屏蔽:腔體采用導電的處理工藝,確保了各零件之間的導通狀態從而達到全屏蔽的效果,降低系統噪聲,有效屏蔽外界干擾,并提供低漏電流保護,為微弱電信號測試提供了合理的測試環境;同時也注意零件配合以及裝配的同時,保證內部的密封性。對于一些特殊的器件/...
表面粗糙度(Surface Roughness):有部分廠家,在光學平臺的指標中,標稱表面粗糙度的概念,往往存在一些誤導。國家標準GB/T3505-2000中規定了評定表面粗糙度的各種參數,其中常用的是輪廓算術平均偏差Ra。輪廓算術平均偏差Ra是指在取樣長度內...
光學平臺中的重復定位精度同精密位移臺中概念不同,光學平臺的重復定位精度,是指在空載和在一定條件下加上負載并去除負載,光學平臺穩定后的高度差。這個指標同負載的大小、加載的位置、加載時的速度、加速度、卸載時的速度、加速度等等指標有很大的關系,對于充氣式平臺,還有一...
對于平臺上的光學元件來說,平面度引起的高度差,通常可以忽略不計,若確有必要考慮高度差,則完全可以通過勤確精密調整的位移臺來實現。綜上所述,光學平臺的平面度,同光學平臺的隔振性能不相關,只能做為光學平臺的一個輔助指標,供參考。振動物體離開平衡位置的距離叫振動的振...
隨著電子技術的不斷發展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執行機構由探針座和探針桿兩部分組成...
探針臺的分類:探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺:手動探針臺系統顧名思義是手動控制的,這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒...
手動探針臺的使用方式:待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當探針針尖懸空于被測點上空時,可先用Y軸旋...
密封平臺顯微鏡設備用戶應采取接觸固定的方法并予以充分的保護,要確保加工面與玻璃的接觸面積大于5mm,而不應是所有光學平臺顯微鏡本身就不能再進行其他的玻璃保護處理。用戶一方面要保護好產品,一方面要保證安全拿人開刀才是很危險的事小尺寸全硬板狀的平板顯微鏡工作時應該...
高精度探針臺:目前世界出貨量的型號吸收了很新的工藝科技例如OTS,QPU和TTG相關技術,這種全新的高精度系統為下一代小型化的設計及多種測試條件提供保證。特性1:OTS-近的位置對正系統(光學目標對準)OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非...