探針臺是半導體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業重要的檢測裝備之一,其普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環節,負責晶圓的輸送與定位,使晶...
探針臺工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無有害氣體的環境中,...
x-y工作臺的維護與保養:無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很重心的部分。有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的,所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。現在...
熱穩定性的關鍵之處在于各軸方向上都具有對稱、各向均勻的鋼制結構。鋼制部件在熱交換過程中的延伸性和收縮性是相似的,可以在溫度變化過程中保持良好的平整度。鋼制的蜂窩芯結構從頂板延伸到底板,中間并無塑料或鋁質泄露管理結構,因此不會降低平臺整體的剛度或是引入更高的熱膨...
光學平臺隔振系統的構成:光學平臺由上下面板、蜂窩內芯和U型清潔艙采用低溫恒溫粘接而成,溫度應變小。鋼質蜂窩內芯采用垂向支撐桁架蜂窩結構,U型清潔艙與蜂窩芯六邊形內壁相配合內嵌在蜂窩孔中,蜂窩孔六邊形板直接粘結到上面板,U型清潔艙用蜂窩夾層板頂著粘接在上面板,增...
晶圓探針器是用于測試集成電路的機器(自動測試設備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當的位置,同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態。當一個管芯(或管芯陣列)經過電氣測試后,探針臺將晶片移動到下一個管芯(或管芯),下一個測試就可...
振動恢復時間是某一點上開始振動到恢復到初始狀態所需要的很短時間。若要縮短光學平臺的振動恢復時間,通常有兩個辦法:增大彈簧的彈性系數k。對于阻尼隔振平臺,可以換用材質較硬的阻尼材料;對于充氣平臺,可以適度增加空氣壓力;控制光學平臺臺面的質量。在不影響剛度的前提下...
撓度是指結構構件的軸線或中面由于彎曲引起垂直于軸線或中面方向的線位移。對于細長物體或薄物體,撓度是在受力后彎曲變形程度的度量。細長物體(如梁或柱)的撓度是指在變形時其軸線上各點在該點處軸線法平面內的位移量。薄板或薄殼的撓度是指中面上各點在該點處中面法線上的位移...
在建設上分為兩種形式:一種為沒有浮力的氣浮系統,通過二維或三維照片里的輻射點來確定浮力大小,浮力不受地球自轉的影響,以無浮力大氣層為基本模型建設。二種形式為浮力在地表或在空中單獨受力傳遞,浮力通過聲音傳播和計算的模擬間隔間隔固定過程產生浮力,該浮力不受地球自轉...
光學平臺測量方法:使用脈沖錘對平臺或面包板的表面施加一個已測量的外力,并將一個傳感器貼合在平臺或面包板表面對合成振動進行測量。探測器發出的信號通過分析儀進行讀取,并用于產生頻率響應譜(即柔量曲線)。在光學平臺的研發過程中,對平臺表面上很多點的柔量曲線進行記錄;...
探針(探針卡):待測芯片需要測試探針的連接,才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件,探針臂...
晶圓級半自動面內磁場探針臺詳細參數:垂直或面內磁場探針臺,通用性設計;容納12寸晶圓,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4組探針(RF或DC測試);提供Z軸探針平臺快速升降功能,實現高效測試;磁場強度≥330 mT;直流探針(4組)或微波探針(4組);XY電控行...
平面電機的定子及動子是完全暴露在空氣中,所以潮濕的環境及長時期保養不當將很容易使定子發生銹蝕現象,另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷,而影響平面電機的步進精度及使用壽命,對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面,然后用脫脂棉球...
簡單的光學平臺保養說明書?1.光學玻璃防雨罩使用時應每年檢查周圍空氣、溫度、濕度,及時補充;2.材料缺陷和老化是平面顯微鏡對運動目標的光學缺陷檢測很大的困難之一,受壓力改變形狀引起窗口模板反應靈敏變形和關斷的遲鈍及其他其他缺陷;3.硬質打磨主要是為了更加精細的...
光學平臺隔振系統的構成:光學平臺由上下面板、蜂窩內芯和U型清潔艙采用低溫恒溫粘接而成,溫度應變小。鋼質蜂窩內芯采用垂向支撐桁架蜂窩結構,U型清潔艙與蜂窩芯六邊形內壁相配合內嵌在蜂窩孔中,蜂窩孔六邊形板直接粘結到上面板,U型清潔艙用蜂窩夾層板頂著粘接在上面板,增...
近年來,半導體作為信息產業的基石和兵家必爭之地成為本輪貿易戰的焦點。2019年,中美摩擦、日韓半導體材料爭端對全球半導體產業競爭格局也帶來了較大的影響。在自主可控發展策略指導下、在資本與相關配套政策扶植下,中國大陸正在也必將成為全球半導體產業擴張寶地,未來幾年...
自動化探針臺搭配測試機能夠對出廠晶圓片的電氣參數、光學參數進行測試,根據測試結果評定上一道工序的工藝質量,并指導下一道工序。從全球市場看,半導體探針臺設備行業集中度較高,目前主要由國外廠商主導,行業呈現較高壟斷的競爭格局。鑒于自動化探針臺是光、機、電高度一體化...
探針臺從操作上來區分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點...
撓度是指結構構件的軸線或中面由于彎曲引起垂直于軸線或中面方向的線位移。對于細長物體或薄物體,撓度是在受力后彎曲變形程度的度量。細長物體(如梁或柱)的撓度是指在變形時其軸線上各點在該點處軸線法平面內的位移量。薄板或薄殼的撓度是指中面上各點在該點處中面法線上的位移...
磁場探針臺主要用于半導體材料、微納米器件、磁性材料、自旋電子器件及相關技術領域的電、磁學特性測試,能夠提供磁場或變溫環境,并進行高精度的直流/射頻測量。我們生產各類磁場探針臺,穩定性強、功能多樣、可升級擴展,適用于各大高校、研究所及半導體行業的實驗研究和生產。...
目前精密光學儀器產品種類繁多,是為了在重復測量過程中對產品的每一步光路進行精確計算,保證一切不可修改并可重復執行的數據上報數據,精密光學儀器的工作原理主要是通過光學儀器的光學原理實現的。光學儀器經受適當的反射光和反射角,獲得光路模擬圖像,這些圖像是光學儀器可讀...
振動恢復時間是某一點上開始振動到恢復到初始狀態所需要的很短時間。若要縮短光學平臺的振動恢復時間,通常有兩個辦法:增大彈簧的彈性系數k。對于阻尼隔振平臺,可以換用材質較硬的阻尼材料;對于充氣平臺,可以適度增加空氣壓力;控制光學平臺臺面的質量。在不影響剛度的前提下...
手動探針臺規格描述(以實驗室常見的儀準ADVANCED八寸,六寸探針臺為例):探針臺載物臺平整度:5μm探針臺右側標配顯微鏡升降機構,可抬高顯微鏡,便于更換鏡頭和換待測物探針臺左側標配升降器,可快速升降臺面8mm,并具備鎖定功能探針臺右下方標配精調旋轉輪,可微...
頂燈安裝方法考慮變化問題,套車燈照明總成就可以,一定要記得記線線盒一定要選擇穩固的,紅色也就是有固定螺絲接口的,如果安裝不到位,可能導致手伸進去受力不均勻,安裝不上的情況,尤其小長輩們看到十寸偏光鏡沒有固定的兩端螺絲,一定不要選擇帶了偏光鏡固定螺絲的。小編的意...
光學平臺又稱光學桌面,供水平、穩定的臺面,一般平臺都需要進行隔振等措施,保證其不受外界因素干擾,使科學實驗正常進行。目前來說,有主動與被動兩大類。而被動又有橡膠與氣浮兩大類。固體阻尼隔震光學平臺和自動充氣平衡隔震光學平臺。光學平臺追求水平,首先加工的時候整個臺...
重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷,而影響平面電機的步進精度及使用壽命,對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面,然后用脫脂棉球蘸煤油清洗,整個過程操作要十分地細心,不可使定子表面出現凹凸不平的現象。另外也可用沒有腐蝕性,不損壞定...
光學平臺的磨削是有極限的,這個加工的極限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右,換算成平方米大約為:±0.03mm/m2,但這個平面度,同大理石平臺的平面度相差甚遠。大理石平臺根據平面度指標一般分為:000級(平面度≤3μm/m2)、00級(平面度...
光學平臺固有頻率(≤2Hz):固有頻率也稱自然頻率、自振頻率,只有在環境擾動力頻率(f)與光學平臺的固有頻率(fo)的比值f/fo>√2時系統才有隔振作用。所以光學平臺的固有頻率越低,隔振效果效果就越好。該指標的檢測一般采用振動頻譜分析儀及便攜式振動分析儀來進...
探針臺的分類:探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺:手動探針臺系統顧名思義是手動控制的,這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒...
氣墊式隔振支架是利用氣墊的原理,將光學平臺架在氣墊上以達到隔振的效果。特點是:隔振效果好。但是造價較高,使用和維護繁瑣。針對維護繁瑣的情況又出現了自平衡(主動隔振)系統。原理是利用各種傳感器提供的平臺平衡狀況,通過控制系統調節各個隔振支撐的氣壓來達到平衡的目的...